公开(公告)号：CN103668047A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201210321183.8

申请日：2012-09-03

Applicant: 香港纺织及成衣研发中心有限公司

Inventor： 姜绶祥 ,  赵殿栋 ,  张雷 ,  丁峰 ,  郭荣辉 ,  简志伟 ,  罗天颐 ,  莫崧鹰 ,  尚颂民 ,  袁进华 ,  杨妍丽

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/35

Abstract: 本发明涉及一种真空镀膜图案生成装置及方法，真空镀膜图案生成装置包括真空腔室、靶材、带有通孔的镂花板和基材；靶材、镂花板和基材设置在真空腔室内，镂花板设置在靶材与基材之间，靶材出射的镀覆材料透过镂花板上的通孔在基材上沉积成膜。本发明的真空镀膜图案生成装置及方法，利用镂花板镀膜显花原理形成图案，工艺过程简单，易于操作，并且是一次成型，可实现镀膜与图案同步生成，生产效率高，可满足工业化大批量生产的需求。