高温烧结炉系统及方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117043536A

    公开(公告)日:2023-11-10

    申请号:CN202280023765.X

    申请日:2022-03-25

    IPC分类号: F27B9/20

    摘要: 一种烧结炉,其可以具有壳体、一个或多个加热元件以及传送组件。每个加热元件都可以设置在壳体内,并且可以使加热区域经受热冲击温度曲线的作用。通过传送组件,其上具有一种或多种前体的基板可以通过壳体的入口移动到加热区域,在所述加热区域中,所述基板在第一时间段内处于至少500℃的第一温度。然后,传送组件可以将其上具有一种或多种烧结后的材料的基板从加热区域并从壳体的出口移出。