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公开(公告)号:CN1179825C
公开(公告)日:2004-12-15
申请号:CN01814133.1
申请日:2001-08-09
申请人: 3M创新有限公司
摘要: 公开了一种具有底材(12)和置于其上的研磨层的化学机械抛光用研磨垫。一种研磨垫,它具有底材和置于该底材上的研磨层,所述研磨层具有三维结构,该三维结构包括许多个规则排列的具有预定形状的三维元件(11),所述研磨层包含研磨复合物,该复合物含有用化学气相淀积方法制得的高级氧化铝磨粒和粘合剂作为结构组分。
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公开(公告)号:CN1447735A
公开(公告)日:2003-10-08
申请号:CN01814133.1
申请日:2001-08-09
申请人: 3M创新有限公司
摘要: 公开了一种具有底材(12)和置于其上的研磨层的化学机械抛光用研磨垫。一种研磨垫,它具有底材和置于该底材上的研磨层,所述研磨层具有三维结构,该三维结构包括许多个规则排列的具有预定形状的三维元件(11),所述研磨层包含研磨复合物,该复合物含有用化学气相淀积方法制得的高级氧化铝磨粒和粘合剂作为结构组分。
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