干燥转变工艺和设备
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1957216A

    公开(公告)日:2007-05-02

    申请号:CN200580016900.4

    申请日:2005-02-04

    IPC分类号: F26B13/00 F26B13/10

    摘要: 一种卷材转变工艺和设备,其采用干燥转变台和用于传送基板通过干燥转变台的基板装卸设备。基板由一封闭壳体包围在干燥转变台中,向该壳体供给一股或多股调节气体,调节气体以足够能实质性地减少封闭壳体中的颗粒数的速率流动。

    蒸气收集方法及设备
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100422678C

    公开(公告)日:2008-10-01

    申请号:CN200480010895.1

    申请日:2004-03-08

    IPC分类号: F26B13/00 F26B25/00

    摘要: 用于处理移动的不定长基片(12)的设备(10a)及方法。该设备(10a)具有定位于所述基片(12)的表面(14)附近的控制表面(15),从而在所述控制表面(15)和所述基片(12)之间限定出一控制间隙(G)。第一腔(17)定位于所述控制表面(15)附近,该第一腔(17)具有气体引入装置(21)。第二腔(16a)定位于所述控制表面(15)附近,该第二腔(16a)具有气体排出装置(18a)。所述控制表面(15)和所述两个腔(17、16a)一起限定出一区域,在该区域中,气体的质量流量受到控制,从而显著地减小了对气相组分的稀释程度。通过引入受控气流(M1’),从而由于该系统中的压力梯度而减少了不受控的周围气流的流量,实现了上述目的。

    用于控制涂覆宽度的方法和装置

    公开(公告)号:CN100478084C

    公开(公告)日:2009-04-15

    申请号:CN200580002811.4

    申请日:2005-01-07

    IPC分类号: B05C5/02

    CPC分类号: B05C5/0254 Y10S118/02

    摘要: 公开了一种向移动衬底(14)涂施材料的方法。该方法包括:提供模具(12),该模具包括模体,该模体在其中具有空腔,其中该空腔与涂施槽口(24)流体连通。将模具定向,从而涂施槽口定位成将材料分配到衬底上。将材料引入模具空腔,使得材料通过涂施槽口被分配到衬底上。槽口的至少一端包括用于防止分配的材料侧向拓宽的装置(34、819)。在另一实施例中,在涂施槽口的两端设置该装置。该方法在涂覆过程的毛细管数特性小于0.5时特别有用。