往复式孔眼掩模系统及其使用方法

    公开(公告)号:CN101331587A

    公开(公告)日:2008-12-24

    申请号:CN200680046847.7

    申请日:2006-12-12

    CPC classification number: C23C14/042 C23C14/54 C23C14/562

    Abstract: 一种用以在基底上沉积材料图案的装置包括往复式孔眼掩模。一个进料仓容纳多个夹具,每个所述夹具被构造为支承具有限定图案的孔眼的掩模。一个梭子结构接纳由所述进料仓送出的选定夹具,并建立起所述选定夹具上的所述掩模与所述基底的接触。所述梭子结构使所述选定夹具与所述基底成一直线并相对于所述沉积源移动,以使得沉积材料穿过所述选定夹具的所述掩模的所述孔眼,从而在所述基底上形成所述沉积材料的所述图案。

    在基底上沉积材料图案的装置及方法

    公开(公告)号:CN101331587B

    公开(公告)日:2010-06-23

    申请号:CN200680046847.7

    申请日:2006-12-12

    CPC classification number: C23C14/042 C23C14/54 C23C14/562

    Abstract: 一种用以在基底上沉积材料图案的装置包括往复式孔眼掩模。一个进料仓容纳多个夹具,每个所述夹具被构造为支承具有限定图案的孔眼的掩模。一个梭子结构接纳由所述进料仓送出的选定夹具,并建立起所述选定夹具上的所述掩模与所述基底的接触。所述梭子结构使所述选定夹具与所述基底成一直线并相对于所述沉积源移动,以使得沉积材料穿过所述选定夹具的所述掩模的所述孔眼,从而在所述基底上形成所述沉积材料的所述图案。

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