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公开(公告)号：CN118318206A
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202280074593.9
申请日：2022-10-28
Applicant: 3M创新有限公司
IPC: G03F7/00 , B82Y40/00 , C08F220/14 , C09D133/12
Abstract: 本文说明了一种甲基丙烯酸酯共聚物，该甲基丙烯酸酯共聚物源自：包含第二末端烯烃基团的(甲基)丙烯酸酯单体；甲基丙烯酸烷基酯单体，其中烷基基团包含1至4个碳原子；包含低表面能基团的单(甲基)丙烯酸酯单体，其中该低表面能基团包括全氟烷基基团、全氟聚醚基团或硅氧烷基团；和RAFT剂。此类共聚物可用于制备液体组合物，该液体组合物随后可用于产生用于纳米压印或转移光刻的模具。
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