用于表征被涂覆主体的传感器系统和方法

    公开(公告)号:CN104807496A

    公开(公告)日:2015-07-29

    申请号:CN201510039912.4

    申请日:2015-01-27

    IPC分类号: G01D21/02

    摘要: 本发明题为用于表征被涂覆主体的传感器系统和方法。提供一种通过基于与物理模型的拟合的至少一个涂敷参数来表征被涂覆主体的方法。该方法由传感器系统按照非接触方式来执行,传感器系统包括:发射器系统,用于发射THz辐射;检测器系统,用于检测THz辐射;以及处理单元,操作上耦合到发射器系统和检测器系统。该方法包括:由发射器系统将THz辐射信号发射到被涂覆主体;由检测器系统检测作为与聚合涂敷相互作用的所检测THz辐射信号的响应信号;通过优化模型参数来确定物理模型的模型参数;从所确定模型参数来确定至少一个涂敷参数,其中至少一个涂敷参数包括聚合涂敷的厚度。

    用于表征被涂覆主体的传感器系统和方法

    公开(公告)号:CN104807496B

    公开(公告)日:2017-10-10

    申请号:CN201510039912.4

    申请日:2015-01-27

    IPC分类号: G01D21/02

    摘要: 本发明题为用于表征被涂覆主体的传感器系统和方法。提供一种通过基于与物理模型的拟合的至少一个涂敷参数来表征被涂覆主体的方法。该方法由传感器系统按照非接触方式来执行,传感器系统包括:发射器系统,用于发射THz辐射;检测器系统,用于检测THz辐射;以及处理单元,操作上耦合到发射器系统和检测器系统。该方法包括:由发射器系统将THz辐射信号发射到被涂覆主体;由检测器系统检测作为与聚合涂敷相互作用的所检测THz辐射信号的响应信号;通过优化模型参数来确定物理模型的模型参数;从所确定模型参数来确定至少一个涂敷参数,其中至少一个涂敷参数包括聚合涂敷的厚度。