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公开(公告)号：CN105849503B
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201480071278.6
申请日：2014-12-22
Applicant: AGC株式会社
Inventor： 大音仁昭 , 菅原彰 , 有田祐介 , 池野田稔
IPC: G01B11/25 , C03B25/08
Abstract: 测定装置具备：拍摄透明的被测定物的表面及背面处的预定图案的反射像的摄像部；使用摄像部拍摄到的反射像，算出表面或背面的厚度方向的位置的运算部。预定图案包括多个要素，该多个要素的各要素的沿着与该图案的延伸方向垂直的方向形成的一端和另一端沿该延伸方向相互偏离。
