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发明公开
处理室体积调节审中-公开

公开(公告)号：CN118256892A

公开(公告)日：2024-06-28

申请号：CN202311804983.X

申请日：2023-12-25

申请人： ASM IP私人控股有限公司

发明人： C·法尔科内 , D·南德瓦纳 , K·范德如里奥 , V·沙克蒂

IPC分类号： C23C16/44 , H01L21/67 , C23C16/448 , C23C16/458 , C23C16/52

摘要： 描述了用于调节处理室体积的方法和设备。例如，在移除用于执行与处理室相关的功能的至少一个部件之后，处理室可以安装有固定装置以调节处理室的体积。具有固定装置的处理室可以减少前体气体量和用于涂覆工件的处理时间。在涂覆之后，工件可被放置在另一处理室中，以执行与该另一处理室相关的功能。