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公开(公告)号：CN115989460A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202180052255.0
申请日：2021-07-24
Applicant: ASML控股股份有限公司
Inventor： E·W·埃伯特 , 罗克珊娜·雷兹瓦尼纳拉吉
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种量测系统，包括分束器、第一传感器和第二传感器。分束器将由目标散射的散射辐射分成辐射的第一部分和第二部分。第一传感器接收第一部分。第二传感器在第二部分沿着包括楔形系统的路径传播之后接收第二部分，所述楔形系统包括被配置为使第二部分偏向的第一楔形件。
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