公开(公告)号：CN102067039B

公开(公告)日：2014-04-09

申请号：CN200980123070.3

申请日：2009-07-22

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： J·奥腾斯 ,  J·雅各布斯

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： G03F7/70875 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67248

摘要： 物体支撑结构构造成支撑物体。物体支撑结构包括回填结构，构造成供给热缓冲流体至物体支撑结构并从物体支撑结构抽取热缓冲流体。回填结构连接至抽取管道，其构造并布置成从回填结构抽取至少气相的热缓冲流体。回填结构连接至供给管道，构造并布置成供给液相热缓冲流体至回填结构。回填结构布置成使得热缓冲流体成为气相和液相的组合的状态，以与物体热接触。

公开(公告)号：CN102067039A

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN200980123070.3

申请日：2009-07-22

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： J·奥腾斯 ,  J·雅各布斯

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： G03F7/70875 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67248

摘要： 物体支撑结构构造成支撑物体。物体支撑结构包括回填结构，构造成供给热缓冲流体至物体支撑结构并从物体支撑结构抽取热缓冲流体。回填结构连接至抽取管道，其构造并布置成从回填结构抽取至少气相的热缓冲流体。回填结构连接至供给管道，构造并布置成供给液相热缓冲流体至回填结构。回填结构布置成使得热缓冲流体成为气相和液相的组合的状态，以与物体热接触。