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公开(公告)号：CN111587612A
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN201980008103.3
申请日：2019-01-03
申请人： ASML荷兰有限公司
IPC分类号： H05G2/00
摘要： 提供了一种用于控制被用于生成EUV辐射的液滴(102a，b)的形成的装置和方法，该装置和方法包括产生指向照射区域的激光束的部件和液滴源。液滴源(92)包括离开喷嘴(98)的流体和具有电致动元件(104)的子系统，该电致动元件(104)在流体(96)中产生干扰。液滴源产生流(100)，该流(100)分解成液滴，当液滴朝着照射区域前进时，液滴进而聚结成更大的液滴。电致动元件由控制液滴生成/聚结过程的混合波形来驱动。还公开了一种确定喷嘴的传递函数的方法。
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公开(公告)号：CN114846908A
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202080088281.4
申请日：2020-12-02
申请人： ASML荷兰有限公司
IPC分类号： H05G2/00
摘要： 一种方法包括使用喷嘴来喷射材料的初始微滴。该方法包括使用机电元件将压力施加在喷嘴上。该方法包括使用由波形生成器生成的电信号来控制喷嘴上所施加的压力。电信号包括第一周期性波形和第二周期性波形。该方法包括基于第一和第二周期性波形和拖曳力来聚结初始微滴，以生成经聚结微滴。该方法包括使用检测器生成检测信号，检测信号对应于经聚结微滴在检测器处的跨越之间的时间间隔。该方法包括使用处理器确定时间间隔中的至少第一时间间隔和第二时间间隔。
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公开(公告)号：CN113508645A
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN202080016743.1
申请日：2020-02-06
申请人： ASML荷兰有限公司
IPC分类号： H05G2/00
摘要： 一种控制用于生成EUV辐射的液滴的形成的设备和方法。液滴源包括离开喷嘴的流体和具有在流体中产生扰动的可电致动元件的子系统。液滴源产生流，该流分裂成液滴，当液滴朝向辐照区域前进时，液滴转而聚结成更大的液滴。可电致动元件由具有正弦波分量和方波分量的控制信号驱动。测量和控制各种参数，诸如正弦波分量与方波分量之间的相位差，以使流中未聚结的卫星液滴的形成最小化。
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公开(公告)号：CN118614149A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202280089850.6
申请日：2022-11-22
申请人： ASML荷兰有限公司
IPC分类号： H05G2/00
摘要： 一种装置包括：可致动元件，其被耦合到目标材料分配器中的目标材料，并且被配置为基于目标控制信号在(由目标材料分配器提供的)目标流中引起速度扰动；检测装置，其被配置为观测流中的目标，并且基于观测而产生目标检测信号；控制器，其被配置为接收目标检测信号，分析目标检测信号中的峰的间距和尺寸，并且产生波形控制信号，包括至少部分地基于分析来更新与目标流中的一个或多个聚结长度有关的波形控制信号的参数；以及波形产生器，其与可致动元件和控制器通信，并且被配置为至少部分地基于波形控制信号将目标控制信号提供给可致动元件。
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公开(公告)号：CN111587612B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN201980008103.3
申请日：2019-01-03
申请人： ASML荷兰有限公司
IPC分类号： H05G2/00
摘要： 提供了一种用于控制被用于生成EUV辐射的液滴(102a，b)的形成的装置和方法，该装置和方法包括产生指向照射区域的激光束的部件和液滴源。液滴源(92)包括离开喷嘴(98)的流体和具有电致动元件(104)的子系统，该电致动元件(104)在流体(96)中产生干扰。液滴源产生流(100)，该流(100)分解成液滴，当液滴朝着照射区域前进时，液滴进而聚结成更大的液滴。电致动元件由控制液滴生成/聚结过程的混合波形来驱动。还公开了一种确定喷嘴的传递函数的方法。
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