公开(公告)号：CN110945433B

公开(公告)日：2022-07-01

申请号：CN201880049089.7

申请日：2018-07-18

申请人： ASML荷兰有限公司 ,  ASML控股股份有限公司

发明人： H-K·尼恩惠斯 ,  R·P·奥尔布赖特 ,  J·布林克特 ,  黄仰山 ,  H·G·舒密尔 ,  A·H·维尔魏

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 提供了设计以减少具有大范围的尺寸、材料、行进速率和入射角的污染物粒子到达对粒子敏感的环境的可能性。根据本公开的方面，提供有包括第一腔室和第二腔室、具有第一表面的第一结构、和第二结构的物体平台。第二结构配置成支撑第二腔室中的物体，所述第二结构可相对于第一结构移动。第二结构包括第二表面，所述第二表面与第一结构的第一表面相对，从而限定在第一结构与第二结构之间的间隙，所述间隙在第一腔室与第二腔室之间延伸。第二结构还包括第一腔室内的第三表面。所述物体平台还包括设置在所述第三表面的至少一部分上的捕获器，所述捕获器包括多个挡板。

公开(公告)号：CN110945433A

公开(公告)日：2020-03-31

申请号：CN201880049089.7

申请日：2018-07-18

申请人： ASML荷兰有限公司 ,  ASML控股股份有限公司

发明人： H-K·尼恩惠斯 ,  R·P·奥尔布赖特 ,  J·布林克特 ,  黄仰山 ,  H·G·舒密尔 ,  A·H·维尔魏

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 提供了设计以减少具有大范围的尺寸、材料、行进速率和入射角的污染物粒子到达对粒子敏感的环境的可能性。根据本公开的方面，提供有包括第一腔室和第二腔室、具有第一表面的第一结构、和第二结构的物体平台。第二结构配置成支撑第二腔室中的物体，所述第二结构可相对于第一结构移动。第二结构包括第二表面，所述第二表面与第一结构的第一表面相对，从而限定在第一结构与第二结构之间的间隙，所述间隙在第一腔室与第二腔室之间延伸。第二结构还包括第一腔室内的第三表面。所述物体平台还包括设置在所述第三表面的至少一部分上的捕获器，所述捕获器包括多个挡板。