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公开(公告)号：CN108884321A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201780019167.4
申请日：2017-03-23
申请人： AZ电子材料(卢森堡)有限公司
IPC分类号： C08L83/04 , C09D183/04
CPC分类号： C08L83/04 , C09D183/04 , C08L43/04 , C08K5/29 , C08L33/06
摘要： [目的]提供一种组合物，其可形成耐化学品性、耐热性以及分辨性优异的低介电性的固化膜。还提供一种使用所述组合物的制造方法。[手段]本发明提供一种组合物，其包含：碱可溶性树脂、聚硅氧烷、重氮基萘醌衍生物、暴露于热或者光时产生酸或者碱的化合物、以及溶剂，所述碱可溶性树脂是包含有包含羧基的聚合单元与包含烷氧基甲硅烷基的聚合单元的聚合物。
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公开(公告)号：CN104246612A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201380018141.X
申请日：2013-04-05
申请人： AZ电子材料(卢森堡)有限公司
IPC分类号： G03F7/075
CPC分类号： G03F7/0757 , C07F7/1804 , C08L83/04 , C09D183/04 , C09D183/06 , G03F7/0755 , G03F7/085 , G03F7/30
摘要： 本发明提供可进行无机显影的负型感光性硅氧烷化合物、以及使用了其的固化膜的形成方法。一种负型感光性硅氧烷组合物，其包含聚硅氧烷、pKa为2.0～15.7的含硅的化合物、光聚合引发剂以及溶剂。可通过将该组合物涂布于基材上，进行曝光，然后利用无机显影液而显影，并进行加热，从而获得固化膜。
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公开(公告)号：CN108700807A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201780012825.7
申请日：2017-01-20
申请人： AZ电子材料(卢森堡)有限公司
摘要： 提供一种正型感光性硅氧烷组合物，其可在不释放出苯等有害的挥发性成分的状态下形成高分辨率、高耐热性、高透明性的图案，还能减少由在图案形成之时的显影残渣、溶化残留物或难溶物的再附着导致的图案缺陷，储藏稳定性也优异。本发明提供一种正型感光性硅氧烷组合物，其包含：具有苯基的聚硅氧烷、重氮基萘醌衍生物、具有特定的含氮杂环结构的光碱产生剂的水合物或者溶剂化物、以及有机溶剂。
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公开(公告)号：CN104870527A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201380065796.2
申请日：2013-12-19
申请人： AZ电子材料(卢森堡)有限公司
摘要： 本发明提供一种金属氧化物纳米颗粒与硅倍半氧烷聚合物的复合物，该复合物可以在固化过程中不引起金属氧化物的凝集等，可以形成均匀地分散了金属氧化物的高品质的固化膜。一种金属氧化物纳米颗粒与硅倍半氧烷聚合物的复合物的制造方法、以及通过该制造方法而制造出的复合物，在该制造方法中，在水性溶剂中并在相转移催化剂的存在下，使在末端具有硅烷醇基的硅倍半氧烷聚合物或者硅烷单体与在表面具有羟基或者烷氧基的金属氧化物纳米颗粒进行反应。
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公开(公告)号：CN104254807A
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201380018124.6
申请日：2013-04-05
申请人： AZ电子材料(卢森堡)有限公司
摘要： 本发明提供可进行无机显影的负型感光性硅氧烷化合物、以及使用了其的固化膜的形成方法。一种负型感光性硅氧烷组合物，其包含聚硅氧烷、具有脲基键的含硅的化合物、聚合引发剂、以及溶剂。可通过将该组合物涂布于基材上，进行曝光，无需进行曝光后加热而进行显影，从而获得固化膜。
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公开(公告)号：CN108884321B
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN201780019167.4
申请日：2017-03-23
申请人： AZ电子材料(卢森堡)有限公司
IPC分类号： C08L83/04 , C09D183/04
摘要： [目的]提供一种组合物，其可形成耐化学品性、耐热性以及分辨性优异的低介电性的固化膜。还提供一种使用所述组合物的制造方法。[手段]本发明提供一种组合物，其包含：碱可溶性树脂、聚硅氧烷、重氮基萘醌衍生物、暴露于热或者光时产生酸或者碱的化合物、以及溶剂，所述碱可溶性树脂是包含有包含羧基的聚合单元与包含烷氧基甲硅烷基的聚合单元的聚合物。
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公开(公告)号：CN104246612B
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201380018141.X
申请日：2013-04-05
申请人： AZ电子材料(卢森堡)有限公司
IPC分类号： G03F7/075
CPC分类号： G03F7/0757 , C07F7/1804 , C08L83/04 , C09D183/04 , C09D183/06 , G03F7/0755 , G03F7/085 , G03F7/30
摘要： 本发明提供可进行无机显影的负型感光性硅氧烷化合物、以及使用了其的固化膜的形成方法。一种负型感光性硅氧烷组合物，其包含聚硅氧烷、pKa为2.0～15.7的含硅的化合物、光聚合引发剂以及溶剂。可通过将该组合物涂布于基材上，进行曝光，然后利用无机显影液而显影，并进行加热，从而获得固化膜。
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公开(公告)号：CN104870527B
公开(公告)日：2018-04-13
申请号：CN201380065796.2
申请日：2013-12-19
申请人： AZ电子材料(卢森堡)有限公司
摘要： 本发明提供一种金属氧化物纳米颗粒与硅倍半氧烷聚合物的复合物，该复合物可以在固化过程中不引起金属氧化物的凝集等，可以形成均匀地分散了金属氧化物的高品质的固化膜。一种金属氧化物纳米颗粒与硅倍半氧烷聚合物的复合物的制造方法、以及通过该制造方法而制造出的复合物，在该制造方法中，在水性溶剂中并在相转移催化剂的存在下，使在末端具有硅烷醇基的硅倍半氧烷聚合物或者硅烷单体与在表面具有羟基或者烷氧基的金属氧化物纳米颗粒进行反应。
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公开(公告)号：CN113156763A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN202110313361.1
申请日：2017-03-23
申请人： AZ电子材料(卢森堡)有限公司
IPC分类号： G03F7/004 , G03F7/016 , G03F7/021 , C09D183/04
摘要： [目的]提供一种组合物，其可形成耐化学品性、耐热性以及分辨性优异的低介电性的固化膜。还提供一种使用所述组合物的制造方法。[手段]本发明提供一种组合物，其包含：碱可溶性树脂、聚硅氧烷、重氮基萘醌衍生物、暴露于热或者光时产生酸或者碱的化合物、以及溶剂，所述碱可溶性树脂是包含有包含羧基的聚合单元与包含烷氧基甲硅烷基的聚合单元的聚合物。
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公开(公告)号：CN108700807B
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201780012825.7
申请日：2017-01-20
申请人： AZ电子材料(卢森堡)有限公司
摘要： 提供一种正型感光性硅氧烷组合物，其可在不释放出苯等有害的挥发性成分的状态下形成高分辨率、高耐热性、高透明性的图案，还能减少由在图案形成之时的显影残渣、溶化残留物或难溶物的再附着导致的图案缺陷，储藏稳定性也优异。本发明提供一种正型感光性硅氧烷组合物，其包含：具有苯基的聚硅氧烷、重氮基萘醌衍生物、具有特定的含氮杂环结构的光碱产生剂的水合物或者溶剂化物、以及有机溶剂。
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