公开(公告)号：CN105164172A

公开(公告)日：2015-12-16

申请号：CN201480024795.8

申请日：2014-05-15

Applicant: AZ电子材料卢森堡有限公司

Inventor： 吴恒鹏 ,  洪圣恩 ,  曹毅 ,  殷建 ,  M·鲍内斯库 ,  M·迪亚加拉詹

IPC: C08F220/34 ,  C08F226/10 ,  C08F8/44 ,  C09D133/14 ,  C09D139/06 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/405 ,  C08F8/44 ,  C08F220/34 ,  C08F226/10 ,  C08L2201/54 ,  C09D133/14 ,  C09D139/06 ,  G03F7/0035 ,  G03F7/0048 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/40 ,  H01L21/0273

Abstract: 本发明涉及一种新的包含聚合热酸发生剂的含水组合物和将该新的组合物涂覆到光致抗蚀剂图案上，由此在该光致抗蚀剂图案上形成聚合热酸发生剂层的方法。该聚合热酸发生剂包含具有至少一种结构2的重复单元的聚合物：其中R1-R5独立地选自H和C1-C6烷基；R6选自未取代的芳基、取代的芳基、烷基(C1-C8)和氟烷基(C1-C8)，和W是C2-C6亚烷基间隔基团。

公开(公告)号：CN105164172B

公开(公告)日：2018-07-10

申请号：CN201480024795.8

申请日：2014-05-15

Applicant: AZ电子材料卢森堡有限公司

Inventor： 吴恒鹏 ,  洪圣恩 ,  曹毅 ,  殷建 ,  M·鲍内斯库 ,  M·迪亚加拉詹

IPC: C08F220/34 ,  C08F226/10 ,  C08F8/44 ,  C09D133/14 ,  C09D139/06 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/405 ,  C08F8/44 ,  C08F220/34 ,  C08F226/10 ,  C08L2201/54 ,  C09D133/14 ,  C09D139/06 ,  G03F7/0035 ,  G03F7/0048 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/40 ,  H01L21/0273

Abstract: 本发明涉及一种新的包含聚合热酸发生剂的含水组合物和将该新的组合物涂覆到光致抗蚀剂图案上，由此在该光致抗蚀剂图案上形成聚合热酸发生剂层的方法。该聚合热酸发生剂包含具有至少一种结构2的重复单元的聚合物：