公开(公告)号：CN105050681B

公开(公告)日：2017-12-05

申请号：CN201480017244.9

申请日：2014-03-18

Applicant: DIC株式会社

Inventor： 清水良平 ,  滨野弘行 ,  高野启

IPC: B01D19/04 ,  G03F7/004 ,  C07C323/54 ,  C09D7/12 ,  C09D201/00

CPC classification number: C07C323/52 ,  B01D19/0427 ,  C09D5/00 ,  C09D7/63 ,  C09D201/00 ,  G03F7/0048

Abstract: 本发明的目的在于，提供不对表面平滑性带来恶劣影响而能够极大地改善其消泡性的消泡剂、包含消泡剂的表面活性剂组合物、涂层组合物以及抗蚀剂组合物；提供特征在于使1摩尔的1分子中具有k个(此处，k为2以上。)(甲基)丙烯酰基的化合物(a1)与2～k摩尔的具有氟代烷基和活性氢的化合物(a2)进行迈克尔加成而得到的消泡剂、包含该消泡剂和氟系表面活性剂的表面活性剂组合物、包含该消泡剂和氟系表面活性剂的涂层组合物、包含该消泡剂和氟系表面活性剂的抗蚀剂组合物。

公开(公告)号：CN105050681A

公开(公告)日：2015-11-11

申请号：CN201480017244.9

申请日：2014-03-18

Applicant: DIC株式会社

Inventor： 清水良平 ,  滨野弘行 ,  高野启

IPC: B01D19/04 ,  G03F7/004 ,  C07C323/54 ,  C09D7/12 ,  C09D201/00

CPC classification number: C07C323/52 ,  B01D19/0427 ,  C09D5/00 ,  C09D7/63 ,  C09D201/00 ,  G03F7/0048

Abstract: 本发明的目的在于，提供不对表面平滑性带来恶劣影响而能够极大地改善其消泡性的消泡剂、包含消泡剂的表面活性剂组合物、涂层组合物以及抗蚀剂组合物；提供特征在于使1摩尔的1分子中具有k个(此处，k为2以上。)(甲基)丙烯酰基的化合物(a1)与2～k摩尔的具有氟代烷基和活性氢的化合物(a2)进行迈克尔加成而得到的消泡剂、包含该消泡剂和氟系表面活性剂的表面活性剂组合物、包含该消泡剂和氟系表面活性剂的涂层组合物、包含该消泡剂和氟系表面活性剂的抗蚀剂组合物。

公开(公告)号：CN103666006A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201310388527.1

申请日：2013-08-30

Applicant: DIC株式会社

Inventor： 清水良平 ,  滨野弘行 ,  高野启 ,  尾崎悠介

IPC: C09D7/06 ,  C09D7/12 ,  C08F220/28 ,  C08F220/22 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明提供能够获得流平性优异，难以起泡，并且即使起泡也会在短时间内消泡的涂料组合物的表面活性剂，以及使用其的涂料组合物和抗蚀剂组合物。所述表面活性剂的特征在于，其为使具有一个直接结合有氟原子的碳原子的数目为4的烷基的自由基聚合性单体（a1）、具有一个直接结合有氟原子的碳原子的数目为6的烷基的自由基聚合性单体（a2）以及具有聚氧亚烷基链的自由基聚合性单体（a3）进行共聚而得到的。