公开(公告)号：CN1436630A

公开(公告)日：2003-08-20

申请号：CN03101058.X

申请日：2003-01-09

申请人： ESEC贸易公司

发明人： 尤根·曼哈特 ,  瑞特·舒彼格

IPC分类号： B23Q5/50 ,  B23Q7/04 ,  B21D43/11

CPC分类号： H01L21/67259 ,  B25B5/16 ,  B25J19/025 ,  H01L21/68707

摘要： 一种用于扁平工件的夹持件，带有一个具有第一夹持表面(4)的第一夹持卡爪(3)和一个具有第二夹持表面(6)的第二夹持卡爪(5)，该夹持件(1)具有一个用于测量两个夹持表面(4、6)之间的距离(d)的光学传感器。该光学传感器部分地与夹持卡爪(3、5)形成一体。该光学传感器包括一个光发射器(11)，一个第一光导(10)和一个第二光导(12)以及至少一个光传感器(13；13.1、13.2)。第一夹持卡爪(3)具有一个钻孔(8)，该钻孔容纳第一光导(10)的一端，并且，第二夹持卡爪(5)具有一个钻孔(9)，该钻孔9)容纳第二光导(12)的一端。