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发明公开
用于保持、旋转以及加热和/或冷却衬底的装置和方法审中-实审

公开(公告)号：CN108605389A

公开(公告)日：2018-09-28

申请号：CN201780010901.0

申请日：2017-01-24

申请人： EV , 集团 , E·索尔纳有限责任公司

发明人： T.魏泽 , M.蒂施勒

IPC分类号： H05B6/10 , H01L21/67

CPC分类号： H05B6/105 , H01L21/67103 , H01L21/67109 , H01L21/68792

摘要： 提出了一种用于保持、旋转和加热衬底的装置和方法。