公开(公告)号：CN1716512A

公开(公告)日：2006-01-04

申请号：CN200510067028.8

申请日：2005-04-21

Applicant: FEI公司

Inventor： B·布伊斯塞 ,  T·H·J·比斯乔普斯 ,  M·T·穆维塞

IPC: H01J37/14

CPC classification number: H01J37/143

Abstract: 本发明描述了一种粒子－光学装置，该装置配置成：在两个粒子－光学透镜系统(10、20)的辅助下聚焦带电粒子束(1)。透镜作用由磁场实现，该磁场由恒磁材料(13、23)产生。与装配有线圈的磁透镜相比，在磁透镜装配恒磁材料的情况下，不容易通过改变聚焦磁场来改变光焦度。在本发明的装置中，通过改变粒子束(1)穿过透镜系统(10、20)时具有的能量来改变透镜系统的光焦度。容易通过改变电源(14、24)的电压来实现这种情况。

公开(公告)号：CN1716512B

公开(公告)日：2011-07-06

申请号：CN200510067028.8

申请日：2005-04-21

Applicant: FEI公司

Inventor： B·布伊斯塞 ,  T·H·J·比斯乔普斯 ,  M·T·穆维塞

IPC: H01J37/14

CPC classification number: H01J37/143

Abstract: 本发明描述了一种粒子-光学装置，该装置配置成：在两个粒子-光学透镜系统(10、20)的辅助下聚焦带电粒子束(1)。透镜作用由磁场实现，该磁场由恒磁材料(13、23)产生。与装配有线圈的磁透镜相比，在磁透镜装配恒磁材料的情况下，不容易通过改变聚焦磁场来改变光焦度。在本发明的装置中，通过改变粒子束(1)穿过透镜系统(10、20)时具有的能量来改变透镜系统的光焦度。容易通过改变电源(14、24)的电压来实现这种情况。