公开(公告)号：CN114521161B

公开(公告)日：2023-06-20

申请号：CN202080067872.3

申请日：2020-09-30

Applicant: HOYA株式会社

Inventor： W·斯里特普 ,  V·库纳林提普

IPC: B24B37/34 ,  B24B37/28

Abstract: 基板配置辅助治具具有：板状的治具主体，其与所述载具的多个所述基板保持孔的位置对应地设置有能够配置基板的多个待机孔；以及爪部，其在各个所述待机孔的边缘的至少1个部位从所述边缘突出，与所述基板的外周端接触而进行保持。在使所述爪部前进而使所述基板分别保持于所述待机孔的状态下，使所述治具主体移动至所述载具的上部而使所述爪部后退，由此使所述基板从所述待机孔分别释放而落下，从而配置于位于下方的所述载具的各个所述基板保持孔。

公开(公告)号：CN114521161A

公开(公告)日：2022-05-20

申请号：CN202080067872.3

申请日：2020-09-30

Applicant: HOYA株式会社

Inventor： W·斯里特普 ,  V·库纳林提普

IPC: B24B37/34 ,  B24B37/28

Abstract: 基板配置辅助治具具有：板状的治具主体，其与所述载具的多个所述基板保持孔的位置对应地设置有能够配置基板的多个待机孔；以及爪部，其在各个所述待机孔的边缘的至少1个部位从所述边缘突出，与所述基板的外周端接触而进行保持。在使所述爪部前进而使所述基板分别保持于所述待机孔的状态下，使所述治具主体移动至所述载具的上部而使所述爪部后退，由此使所述基板从所述待机孔分别释放而落下，从而配置于位于下方的所述载具的各个所述基板保持孔。