磁盘用基板的制造方法
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106716532B

    公开(公告)日:2019-07-02

    申请号:CN201580050188.3

    申请日:2015-10-14

    CPC classification number: G11B5/84

    Abstract: 提高磁盘用基板的研磨处理后的成品率。使作为对基板的主表面进行研磨的研磨处理中所用的研磨液的原料的浆料通过过滤器,该过滤器由疏水性高分子材料构成,开口直径为100nm以下。使用通过过滤器将浆料中包含的粒径大于磨粒的平均粒径的颗粒除去后的研磨液来进行研磨处理。

    磁盘用基板的制造方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106716532A

    公开(公告)日:2017-05-24

    申请号:CN201580050188.3

    申请日:2015-10-14

    CPC classification number: G11B5/84

    Abstract: 提高磁盘用基板的研磨处理后的成品率。使作为对基板的主表面进行研磨的研磨处理中所用的研磨液的原料的浆料通过过滤器,该过滤器由疏水性高分子材料构成,开口直径为100nm以下。使用通过过滤器将浆料中包含的粒径大于磨粒的平均粒径的颗粒除去后的研磨液来进行研磨处理。

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