公开(公告)号：CN1222011C

公开(公告)日：2005-10-05

申请号：CN01805432.3

申请日：2001-01-26

申请人： ICT半导体集成电路测试有限公司

发明人： 帕维尔·亚达梅克

IPC分类号： H01J37/10 ,  H01J37/14 ,  H01J37/26 ,  H01J29/66

摘要： 本发明提供了一种用于带电粒子束装置的改进物镜。该物镜包括一个磁透镜，用于产生一个第一磁场将带电粒子束聚焦在样品上。而且，通过提供至少一个附加线圈配置，一个偏转装置被集成到磁透镜中，产生一个第二磁场用于使带电粒子束偏转。因此，第二磁场通过磁透镜的至少一个磁极条被控制，本发明也提供了用于带电粒子束装置的改进的圆柱腔，它包括改进的物镜。

公开(公告)号：CN1404617A

公开(公告)日：2003-03-19

申请号：CN01805432.3

申请日：2001-01-26

申请人： ICT半导体集成电路测试有限公司

发明人： 帕维尔·亚达梅克

IPC分类号： H01J37/10 ,  H01J37/14 ,  H01J37/26 ,  H01J29/66

摘要： 本发明提供了一种用于带电粒子束装置的改进物镜。该物镜包括一个磁透镜，用于产生一个第一磁场将带电粒子束聚焦在样品上。而且，通过提供至少一个附加线圈配置，一个偏转装置被集成到磁透镜中，产生一个第二磁场用于使带电粒子束偏转。因此，第二磁场通过磁透镜的至少一个磁极条被控制，本发明也提供了用于带电粒子束装置的改进的圆柱腔，它包括改进的物镜。

公开(公告)号：CN1229849C

公开(公告)日：2005-11-30

申请号：CN01805431.5

申请日：2001-01-24

申请人： ICT半导体集成电路测试有限公司

发明人： 帕维尔·亚达梅克

IPC分类号： H01J37/147 ,  H01J37/153

CPC分类号： H01J37/153 ,  H01J37/147 ,  H01J2237/04737 ,  H01J2237/04924

摘要： 本发明提供一种改进的用于带电粒子束装置的圆柱腔体。这个腔体包括偏向器，该偏向器用于在样本表面扫描粒子束、相对于物镜调准粒子束、补偿由物镜所引起的像差。因此，用于偏向器并且可独立控制的电极配置和/或线圈配置的数目是8个或更少。

公开(公告)号：CN1404618A

公开(公告)日：2003-03-19

申请号：CN01805431.5

申请日：2001-01-24

申请人： ICT半导体集成电路测试有限公司

发明人： 帕维尔·亚达梅克

IPC分类号： H01J37/147 ,  H01J37/153

CPC分类号： H01J37/153 ,  H01J37/147 ,  H01J2237/04737 ,  H01J2237/04924

摘要： 本发明提供一种改进的用于带电粒子束装置的圆柱腔体。这个腔体包括偏向器，该偏向器用于在样本表面扫描粒子束、相对于物镜调准粒子束、补偿由物镜所引起的像差。因此，用于偏向器并且可独立控制的电极配置和/或线圈配置的数目是8个或更少。