感放射线性组合物、硬化膜、硬化膜的制造方法及显示元件

    公开(公告)号:CN110794648B

    公开(公告)日:2024-08-27

    申请号:CN201910639583.5

    申请日:2019-07-16

    Abstract: 本发明提供一种感放射线性组合物、硬化膜、硬化膜的制造方法及显示元件。感放射线性组合物,其含有聚合物成分(A)及感放射线性化合物(B),所述聚合物成分(A)在同一或不同的聚合物中具有源自马来酰亚胺的结构单元(I)及含有式(II‑1)所表示的基的结构单元(II)。#imgabs0#[R1、R2、R3分别独立地为氢原子、烷基、脂环式烃基、芳基、这些基所具有的氢原子的一部分或全部经取代基所取代的基、或者‑SiRA3;RA分别独立地为碳数1~10的烷基;Q1为酯键、或者‑Ar1‑O‑所表示的二价基(Ar1为亚芳基、或者亚芳基所具有的氢原子的一部分或全部经取代基所取代的基)]。

    感放射线性树脂组合物、半导体元件、显示装置、硬化膜及其制造方法

    公开(公告)号:CN109581811A

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201811098945.6

    申请日:2018-09-20

    Abstract: 本发明提供一种放射线感度及保存稳定性优异且可获得解析度高、对于金属配线的腐蚀性低的经图案化的膜的感放射线性树脂组合物、半导体元件、显示装置、硬化膜及其制造方法。一种感放射线性树脂组合物,包含:聚合体成分(A),在相同或不同的聚合体中具有含有芳香环与直接键结于所述芳香环上的烷氧基硅烷基的结构单元(I)及含有酸性基的结构单元(II);感放射线性化合物(B);有机溶媒(D);以及水(E);并且所述水(E)的含量为10wtppm以上、800wtppm以下。

    组合物、硬化膜及其制造方法、半导体元件以及显示元件

    公开(公告)号:CN115202152A

    公开(公告)日:2022-10-18

    申请号:CN202210382467.1

    申请日:2022-04-13

    Abstract: 本发明提供一种为高感度且可在减压干燥工序中实现减压到达时间的缩短化、并且可获得显影残渣少的硬化膜的组合物、硬化膜及其制造方法、半导体元件以及显示元件。一种感放射线性组合物,含有:丙烯酸系聚合物(A1),包含具有式(1)所表示的基的结构单元(I);聚合物(A2),包含具有酸性基的结构单元(α)及具有环状醚基的结构单元(β),且不含具有式(1)所表示的基的结构单元;以及感放射线性化合物,并且丙烯酸系聚合物(A1)包含超过15质量%且97质量%以下的结构单元(I),丙烯酸系聚合物(A1)与聚合物(A2)的含有比率为(A1):(A2)=3:97~40:60(质量比)。

    感放射线性组合物、硬化膜、硬化膜的制造方法及显示元件

    公开(公告)号:CN110794648A

    公开(公告)日:2020-02-14

    申请号:CN201910639583.5

    申请日:2019-07-16

    Abstract: 本发明提供一种感放射线性组合物、硬化膜、硬化膜的制造方法及显示元件。感放射线性组合物,其含有聚合物成分(A)及感放射线性化合物(B),所述聚合物成分(A)在同一或不同的聚合物中具有源自马来酰亚胺的结构单元(I)及含有式(II-1)所表示的基的结构单元(II)。[R1、R2、R3分别独立地为氢原子、烷基、脂环式烃基、芳基、这些基所具有的氢原子的一部分或全部经取代基所取代的基、或者-SiRA3;RA分别独立地为碳数1~10的烷基;Q1为酯键、或者-Ar1-O-所表示的二价基(Ar1为亚芳基、或者亚芳基所具有的氢原子的一部分或全部经取代基所取代的基)]。

    感放射线性树脂组合物、半导体元件、显示装置、硬化膜及其制造方法

    公开(公告)号:CN109581812A

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201811098959.8

    申请日:2018-09-20

    Abstract: 本发明提供一种可使放射线感度与所谓的PCD裕度、PED裕度特性并存的感放射线性树脂组合物、半导体元件、显示装置、硬化膜及其制造方法。所述感放射线性树脂组合物,包含:聚合体成分(A),在相同或不同的聚合体中具有含有芳香环与直接键结于所述芳香环上的烷氧基硅烷基的结构单元(I)及含有酸性基的结构单元(II)(其中,源自芳香族不饱和羧酸及含羟基氟化烷基的单体的结构单元除外);感放射线性化合物(B);以及有机溶媒(G)。

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