公开(公告)号：CN101652713B

公开(公告)日：2013-06-26

申请号：CN200880011655.1

申请日：2008-04-11

Applicant: LG化学株式会社

Inventor： 金韩修 ,  林敏映 ,  许闰姬 ,  刘志钦 ,  金星炫 ,  朴光汉

IPC: G03F7/004

CPC classification number: G03F7/033 ,  G03F7/0007

Abstract: 本发明涉及一种光敏树脂组合物，该组合物包含作为碱溶性树脂的利用大分子单体制备的聚合物。该光敏树脂组合物可用于多种用途，如用于制造滤光片的光致抗蚀剂、保护层光致抗蚀剂、柱状间隔物和具有遮光性的绝缘材料；并且改善了光致抗蚀剂的物理性能，如有无残留物、耐化学性和耐热性的改善。

公开(公告)号：CN101652713A

公开(公告)日：2010-02-17

申请号：CN200880011655.1

申请日：2008-04-11

Applicant: LG化学株式会社

Inventor： 金韩修 ,  林敏映 ,  许闰姬 ,  刘志钦 ,  金星炫 ,  朴光汉

IPC: G03F7/004

CPC classification number: G03F7/033 ,  G03F7/0007

Abstract: 本发明涉及一种光敏树脂组合物，该组合物包含作为碱溶性树脂的利用大分子单体制备的聚合物。该光敏树脂组合物可用于多种用途，如用于制造滤光片的光致抗蚀剂、保护层光致抗蚀剂、柱状间隔物和具有遮光性的绝缘材料；并且改善了光致抗蚀剂的物理性能，如有无残留物、耐化学性和耐热性的改善。