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公开(公告)号：CN115698684A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202080101576.0
申请日：2020-06-01
Applicant: LG电子株式会社
IPC: G01N21/95 , G01N21/552 , G01N21/41 , G03B3/10
Abstract: 公开了一种薄膜特性测量设备，其用于测量待被检查物体的薄膜的厚度或宽度。薄膜特性测量设备包括光源、第一反射镜、第一致动器和透镜组件。透镜组件形成为使得由光轴和透射穿过透镜组件的光线的主光线形成的角度小于或等于由光轴和入射到透镜组件的光线的主光线形成的角度。光源可以包括超发光二极管(SLD)。提供了薄膜特性测量设备、方法等，该薄膜特性测量设备使得透射穿过透镜组件的光能够在待被检查物体的入射表面上往复运动，同时第一反射镜在预定角度范围内反复地倾斜，并且因此可以准确地测量相对大的区域以及可以不同地控制待被测量的位置。
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