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公开(公告)号：CN119452226A
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202380050584.0
申请日：2023-06-21
Applicant: LG电子株式会社
Abstract: 本发明的特征在于包括：测试镜，XYZ轴以及能够绕X轴、Y轴摆动；第一透镜，向基准点入射的入射光和反射光透过第一透镜；第二透镜，沿着反射光的光轴配置；第一传感器，基于透过第二透镜的光的受光位置检测测试镜在XY轴上的移动；第一光源，与反射光的光轴垂直地配置；第一分束器，形成向第一透镜入射的入射光，透过第一透镜的反射光透过第一分束器；第二分束器，对透过第一分束器的反射光的一部分进行反射，使其入射到第二透镜；第二传感器，接受第二分束器的反射光，并且基于受光位置检测测试镜的X轴、Y轴摆动角度；第二光源，朝基准点发射光；以及第三传感器，基于反射光的受光位置，检测测试镜在Z轴上的移动。
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