公开(公告)号：CN108885978B

公开(公告)日：2023-04-25

申请号：CN201780020275.3

申请日：2017-04-10

申请人： MKS 仪器公司

发明人： 戈登·希尔 ,  大卫·F·布罗耶尔 ,  大卫·C·诺伊迈斯特 ,  布拉德利·雷蒙德·勒费夫尔

IPC分类号： H01L21/205 ,  F16K5/10 ,  H01L21/67

摘要： 一种冷却隔离阀，包括阀体、联接至阀体的固定元件以及可相对于固定元件在闭合位置与打开位置之间移动的可移动闭合元件，在该闭合位置，可移动闭合元件和固定元件结合在一起。可移动闭合元件和固定元件之一包括密封元件。在可移动闭合元件的闭合位置，密封元件在可移动闭合元件与固定元件之间提供密封。流体通道形成为与可移动闭合元件接触并且可相对于固定元件随可移动闭合元件移动，使得流体通道中的流体在可移动闭合元件中实现热传递。一种隔离阀的波纹管可以包括带有陶瓷涂层的金属基材。

公开(公告)号：CN108885978A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201780020275.3

申请日：2017-04-10

申请人： MKS 仪器公司

发明人： 戈登·希尔 ,  大卫·F·布罗耶尔 ,  大卫·C·诺伊迈斯特 ,  布拉德利·雷蒙德·勒费夫尔

IPC分类号： H01L21/205 ,  F16K5/10 ,  H01L21/67

CPC分类号： F16K49/007 ,  F16K1/126 ,  F16K1/22 ,  F16K1/222 ,  F16K1/46 ,  F16K3/06 ,  F16K31/1221 ,  F16K41/10 ,  F16K51/02

摘要： 一种冷却隔离阀，包括阀体、联接至阀体的固定元件以及可相对于固定元件在闭合位置与打开位置之间移动的可移动闭合元件，在该闭合位置，可移动闭合元件和固定元件结合在一起。可移动闭合元件和固定元件之一包括密封元件。在可移动闭合元件的闭合位置，密封元件在可移动闭合元件与固定元件之间提供密封。流体通道形成为与可移动闭合元件接触并且可相对于固定元件随可移动闭合元件移动，使得流体通道中的流体在可移动闭合元件中实现热传递。一种隔离阀的波纹管可以包括带有陶瓷涂层的金属基材。