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发明授权
级联源以及用于控制级联源的方法失效转让

公开(公告)号：CN101674703B

公开(公告)日：2012-12-05

申请号：CN200910206369.7

申请日：2004-05-19

申请人： OTB太阳有限公司

发明人： 马丁·迪南特·比克 , 莱昂纳德斯·彼得鲁斯·玛利亚·克莱森 , 弗朗西斯库斯·柯尔内留斯·丹格斯 , 雷米克·莱昂纳德斯·约翰内斯·罗伯托斯·彭宁斯

IPC分类号： H05H1/34

CPC分类号： H05H1/34 , H05H2001/3452

摘要： 级联源以及用于控制级联源的方法。一种具有阴极罩、多个级联板以及阳极板的级联源，所述级联板彼此绝缘、依次叠置并一起限定至少一个等离子通道，所述阳极板具有连接至所述等离子通道的流出口，其中每个等离子通道设置一个阴极，该阴极包括一个电极，所述电极相对于所述阴极罩在所述等离子通道的方向上可调节，其中，夹紧装置优选为套爪夹头型。还描述了一种用于控制使用中的所述级联源的方法。