公开(公告)号：CN104220633B

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201280071246.7

申请日：2012-03-06

Applicant: SNU精度株式会社

Inventor： 金泰焕 ,  柳云善 ,  南宫晟泰

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/56

CPC classification number: C23C14/042 ,  C23C14/562

Abstract: 本发明涉及一种能够形成图案的沉积装置，本发明的能够形成图案的沉积装置，其为用于在基板上沉积原料的装置，其特征在于，进一步包括：喷嘴部，形成有喷射口，用于向所述基板侧喷射原料；快门部，用于选择性地开闭喷嘴部的喷射口，从而选择性地喷射所述原料；及移送部，用于移送所述基板或所述喷嘴部中的至少一个。

公开(公告)号：CN104220633A

公开(公告)日：2014-12-17

申请号：CN201280071246.7

申请日：2012-03-06

Applicant: SNU精度株式会社

Inventor： 金泰焕 ,  柳云善 ,  南宫晟泰

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/56

CPC classification number: C23C14/042 ,  C23C14/562

Abstract: 本发明涉及一种能够形成图案的沉积装置，本发明的能够形成图案的沉积装置，其为用于在基板上沉积原料的装置，其特征在于，进一步包括：喷嘴部，形成有喷射口，用于向所述基板侧喷射原料；快门部，用于选择性地开闭喷嘴部的喷射口，从而选择性地喷射所述原料；及移送部，用于移送所述基板或所述喷嘴部中的至少一个。