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公开(公告)号：CN106102189B
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：CN201610423627.7
申请日：2013-07-09
申请人： 光洋热系统株式会社
摘要： 本发明提供加热器单元和热处理装置。热处理装置(10)包括热处理炉(1)、热源(21)、透光构件(3)和气体流通机构(4)。热处理炉(1)收容被处理件。热源(21)使用放射红外线的热源。透光构件(3)与热源(21)相对配置，把热源(21)与气氛隔离。透光构件(3)由使从热源(21)放射的红外线的至少一部分透过的材料制成。气体流通机构(4)构成为使冷却气体在形成于热源(21)和透光构件(3)之间的空间(300)中流通。
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公开(公告)号：CN104835760B
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201510066505.2
申请日：2015-02-09
申请人： 光洋热系统株式会社
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 本发明提供一种热处理装置。其中，门以能通过开闭机构开闭的方式设置在石英管的炉口。门具有配置在石英管一侧的石英板、保持在门的内侧的绝热材料、以及保持石英板和绝热材料的门框。开闭机构具有前端支承门框并与门一起在靠近或远离石英管的方向上被驱动的驱动臂、以及驱动驱动臂的驱动装置，利用驱动装置的驱动力驱动门来打开或封闭石英管的炉口。门倾斜调整构件以能倾斜的方式支承在驱动臂的前端，并且安装在门框上，以能进行倾斜调整的方式支承门。
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公开(公告)号：CN106102189A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610423627.7
申请日：2013-07-09
申请人： 光洋热系统株式会社
摘要： 本发明提供加热器单元和热处理装置。热处理装置(10)包括热处理炉(1)、热源(21)、透光构件(3)和气体流通机构(4)。热处理炉(1)收容被处理件。热源(21)使用放射红外线的热源。透光构件(3)与热源(21)相对配置，把热源(21)与气氛隔离。透光构件(3)由使从热源(21)放射的红外线的至少一部分透过的材料制成。气体流通机构(4)构成为使冷却气体在形成于热源(21)和透光构件(3)之间的空间(300)中流通。
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公开(公告)号：CN102208344B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201010580164.8
申请日：2010-12-06
申请人： 光洋热系统株式会社
发明人： 向井正行
IPC分类号： H01L21/324 , C30B33/02 , H01L21/66
摘要： 本发明提供的热处理装置(10)包括加热器(20)、参照负荷率运算部(CPU(50))、换气量调节部(16)和换气量控制部(CPU(50))。加热器(20)配置在炉体(12)内部，对工件(18)进行加热。参照负荷率运算部(CPU(50))运算加热器(20)的参照负荷率。换气量调节部(16)对换气系统(11)的换气量进行调节。换气量控制部(CPU(50))根据参照负荷率运算部(CPU(50))的运算结果，控制换气量调节部(16)。换气量控制部(CPU(50))根据加热器(20)的参照负荷率的增加使换气系统(11)的换气量增加，另一方面，根据参照负荷率的减少使换气系统(11)的换气量减少。
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公开(公告)号：CN103398590B
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201310256396.1
申请日：2007-11-19
申请人： 光洋热系统株式会社
IPC分类号： F27D17/00
CPC分类号： Y02E20/348 , Y02P10/265
摘要： 本发明提供一种热回收装置。与现有热回收装置相比，该热回收装置可提高热回收效率，同时可控制制造成本。该热回收装置（100）具备热交换单元（4）、主预热室（12）和副预热室（13）。在主预热室（12）设置有高温腔室（2）。在副预热室（13）设置有低温腔室（3）。热交换单元（4）从高温腔室（2）回收热量并向低温腔室（3）散发所回收的热量。副预热室（13）在低温气体通路中的低温腔室（3）的前段，主预热室（12）在低温气体通路中的副预热室（13）的前段。主预热室（12）内，使低温气体吸收从高温腔室（2）所泄露的热量。
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公开(公告)号：CN102519244B
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201110461911.0
申请日：2005-09-20
申请人： 光洋热系统株式会社
发明人： 森本岩穗
IPC分类号： F27B3/10
摘要： 一种防尘装置，可以以简单的构造来防止尘埃进入到炉内。在炉体侧壁(23)上，形成了辊子贯穿孔(31)，被用作输送加工品的炉床辊子(33)贯穿于辊子贯穿孔(31)中，并且，炉床辊子(33)的端部从炉体侧壁的侧面突出出来。在该炉体侧壁(23)外侧表面上，安装着清洁空气管道(41)，并使该清洁空气管道(41)位于比辊子贯穿孔(31)高的上方位置上。在清洁空气管道(41)上设有开口方向朝下的空气排出口(43)。在清洁空气管道(41)上设有挡板(44)，使该挡板(44)从侧面覆盖空气排出口(43)。
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公开(公告)号：CN103546996A
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：CN201310286664.4
申请日：2013-07-09
申请人： 光洋热系统株式会社
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 本发明提供加热器单元和热处理装置。热处理装置（10）包括热处理炉（1）、热源（21）、透光构件（3）和气体流通机构（4）。热处理炉（1）收容被处理件。热源（21）使用放射红外线的热源。透光构件（3）与热源（21）相对配置，把热源（21）与气氛隔离。透光构件（3）由使从热源（21）放射的红外线的至少一部分透过的材料制成。气体流通机构（4）构成为使冷却气体在形成于热源（21）和透光构件（3）之间的空间（300）中流通。
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公开(公告)号：CN103398590A
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN201310256396.1
申请日：2007-11-19
申请人： 光洋热系统株式会社
IPC分类号： F27D17/00
CPC分类号： Y02E20/348 , Y02P10/265
摘要： 本发明提供一种热回收装置。与现有热回收装置相比，该热回收装置可提高热回收效率，同时可控制制造成本。该热回收装置（100）具备热交换单元（4）、主预热室（12）和副预热室（13）。在主预热室（12）设置有高温腔室（2）。在副预热室（13）设置有低温腔室（3）。热交换单元（4）从高温腔室（2）回收热量并向低温腔室（3）散发所回收的热量。副预热室（13）在低温气体通路中的低温腔室（3）的前段，主预热室（12）在低温气体通路中的副预热室（13）的前段。主预热室（12）内，使低温气体吸收从高温腔室（2）所泄露的热量。
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公开(公告)号：CN101666581B
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN200910163623.X
申请日：2009-08-06
申请人： 光洋热系统株式会社
摘要： 本发明提供一种热处理装置。减压干燥装置(10)是该热处理装置的一个例子。减压干燥装置(10)至少具有板式加热器(18)和炉体(12)。板式加热器(18)具有一个或多个细管铠装加热器(30)，所述细管铠装加热器(30)具有发热线(42)和供电线(40)在绝缘的状态下填充到金属管中的铠装部(32)。炉体(12)以把板式加热器18收容进内部的方式构成。此外，炉体(12)具有能够让细管铠装加热器(30)的铠装部(32)穿过的计量口(122)。减压干燥装置(10)在把细管铠装加热器(30)的除了铠装部(32)以外的部位全部配置在炉体(12)外部的状态下，对铠装部(32)和计量口(122)之间实施了真空密封。
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公开(公告)号：CN101839644B
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201010132170.7
申请日：2010-03-09
申请人： 光洋热系统株式会社
IPC分类号： F27B17/00
摘要： 本发明提供一种基板处理系统和基板处理方法。所述基板处理系统(10)包括输送部(15)、第一处理室(16)、第二处理室(18)和主控制部(30)。输送部(15)具有输送工件(20)的输送机械手(22)。第一处理室(16)和第二处理室(18)配置在输送部(15)的周围。第一处理室(16)和第二处理室(18)分别具有在搬入和搬出工件(20)时能打开或关闭的门(162、182)。主控制部(30)控制输送机械手(22)和门(162、182)的动作，使得输送机械手(22)不是对第一处理室(16)或第二处理室(18)中的任意一个连续进行搬入或搬出，而是对第一处理室(16)和第二处理室(18)交替进行搬入或搬出。
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