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公开(公告)号：CN110596435A
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201910741128.6
申请日：2016-12-28
申请人： 塞莱敦系统股份有限公司
摘要： 本文中的系统、装置和方法可以提供多位点定位机构，该多位点定位机构适于在有或者没有受控环境的情况下跨一温度范围内对(一个或多个)受测试器件(DUT)(例如，半导体晶圆)进行长期测试。本文中的系统、装置和方法包括安装部件、机构和结构，这些安装部件、机构和结构可以提供极佳的机械稳定性，允许具有高分辨率的、相对较近工作距离的光学元件，使得在具有最小热扰动的受控环境中的高温下能够进行精密定位。本文中的系统、装置和方法可以具有模块化，例如，模块化以具有可以容易地添加或者移除且可以允许接入至密集堆积阵列中的探针模块的轨道和测试位点。
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公开(公告)号：CN108780122B
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：CN201680082828.3
申请日：2016-12-28
申请人： 塞莱敦系统股份有限公司
摘要： 本文中的系统、装置和方法可以提供多位点定位机构，该多位点定位机构适于在有或者没有受控环境的情况下跨一温度范围内对(一个或多个)受测试器件(DUT)(例如，半导体晶圆)进行长期测试。本文中的系统、装置和方法包括安装部件、机构和结构，这些安装部件、机构和结构可以提供极佳的机械稳定性，允许具有高分辨率的、相对较近工作距离的光学元件，使得在具有最小热扰动的受控环境中的高温下能够进行精密定位。本文中的系统、装置和方法可以具有模块化，例如，模块化以具有可以容易地添加或者移除且可以允许接入至密集堆积阵列中的探针模块的轨道和测试位点。
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公开(公告)号：CN108780122A
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201680082828.3
申请日：2016-12-28
申请人： 塞莱敦系统股份有限公司
摘要： 本文中的系统、装置和方法可以提供多位点定位机构，该多位点定位机构适于在有或者没有受控环境的情况下跨一温度范围内对(一个或多个)受测试器件(DUT)(例如，半导体晶圆)进行长期测试。本文中的系统、装置和方法包括安装部件、机构和结构，这些安装部件、机构和结构可以提供极佳的机械稳定性，允许具有高分辨率的、相对较近工作距离的光学元件，使得在具有最小热扰动的受控环境中的高温下能够进行精密定位。本文中的系统、装置和方法可以具有模块化，例如，模块化以具有可以容易地添加或者移除且可以允许接入至密集堆积阵列中的探针模块的轨道和测试位点。
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公开(公告)号：CN110596435B
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN201910741128.6
申请日：2016-12-28
申请人： 塞莱敦系统股份有限公司
摘要： 本文中的系统、装置和方法可以提供多位点定位机构，该多位点定位机构适于在有或者没有受控环境的情况下跨一温度范围内对(一个或多个)受测试器件(DUT)(例如，半导体晶圆)进行长期测试。本文中的系统、装置和方法包括安装部件、机构和结构，这些安装部件、机构和结构可以提供极佳的机械稳定性，允许具有高分辨率的、相对较近工作距离的光学元件，使得在具有最小热扰动的受控环境中的高温下能够进行精密定位。本文中的系统、装置和方法可以具有模块化，例如，模块化以具有可以容易地添加或者移除且可以允许接入至密集堆积阵列中的探针模块的轨道和测试位点。
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