公开(公告)号：CN104437932A

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201410437598.0

申请日：2014-08-29

申请人： 株式会社东芝

发明人： 贵志寿之 ,  渊上安彦 ,  大城健一

IPC分类号： B05B13/02 ,  B05B13/04 ,  B05C13/02

CPC分类号： B05B15/0266 ,  B05B15/55 ,  B05B15/555 ,  B05B15/557 ,  B05C5/0208 ,  G03F7/162 ,  B05B9/0403 ,  B05B13/0242 ,  B05B13/041

摘要： 本发明根据实施形态，提供具备载物台、喷嘴、移动单元、气体供给部、洗净液供给部和喷嘴洗净部的螺旋涂敷装置。载物台具有载置涂敷对象物的载置面。喷嘴往载置在载物台上的涂敷对象物吐出液体。移动单元使喷嘴相对于载物台相对地移动。气体供给部提供气体。洗净液供给部提供洗净液。喷嘴洗净部具有气体供给口和洗净液供给口，从气体供给口向喷嘴喷射从气体供给部提供来的气体，从洗净液供给口向喷嘴吐出从洗净液供给部提供来的洗净液。