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公开(公告)号：CN1530232A
公开(公告)日：2004-09-22
申请号：CN200410006165.6
申请日：2004-03-04
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： B41J2/1623 , B41J2/1614 , B41J2/1632 , B41J2/1646 , H01L41/0472 , H01L41/083
摘要： 本发明公开了一种压电元件形成部件。其中，第一内部电极层和第二内部电极层交替层叠同时在两者之间夹入压电层。所述第一内部电极层至少暴露到所述衬底的第一端面，并且第二内部电极层至少暴露到所述衬底的与所述第一端面相对的第二端面。第一外部电极层形成在所述第一端面和连接所述第一端面与所述第二端面的第三端面上。所述第一外部电极层电连接到所述第一内部电极层。第二外部电极层至少形成在所述第二端面和所述第三端面上。所述第二外部电极层电连接到所述第二内部电极层，并且与所述第一外部电极层电独立。所述第一外部电极层和所述第一内部电极层被狭缝分割开，以形成在第一方向上排列的多个压电元件，所述狭缝从所述第一端面延伸出。所述第一外部电极层的一部分和所述第二外部电极层的一部分在所述第一方向上在所述第三端面上相邻。
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公开(公告)号：CN1274504C
公开(公告)日：2006-09-13
申请号：CN02804631.5
申请日：2002-01-24
申请人： 西尔弗布鲁克研究有限公司
发明人： 卡·西尔弗布鲁克
IPC分类号： B41J2/16
CPC分类号： B41J2/015 , B41J2/04 , B41J2/14 , B41J2/1433 , B41J2/14427 , B41J2/145 , B41J2/16 , B41J2/1614 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1639 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2/1648 , B41J2/16505 , B41J29/12 , B41J2002/14435 , B41J2002/14443 , G01D15/00 , G11B5/127 , Y10T29/49401
摘要： 一种用于喷墨打印机的打印头，具有一个采用微电子机械系统(MEMS)技术制作的喷墨喷嘴(22)阵列(14)。为了保护该精密的喷嘴结构，一个喷嘴防护装置(80)覆盖了该阵列(14)的外表面。在该防护装置(80)中制作一个对应的孔(84)阵列。为把防护装置(80)贴附到设有喷嘴(22)的硅基片(16)上，配置了用于与喷嘴防护装置(80)上面的互补结构相接合的调准结构(148)。为了在该喷嘴(22)和该防护装置(80)中的各个孔(84)之间精确的定位，可以使用与用于制作该喷嘴(22)的同样的蚀刻和沉积技术来形成该调准结构(148)。为保护易损的喷嘴结构(22)在装配过程中免于与支柱的各种不利接触，采用牺牲层(152)来强化喷嘴(22)，该牺牲层随后通过氧等离子蚀刻(154)而去除。
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公开(公告)号：CN100372686C
公开(公告)日：2008-03-05
申请号：CN200410006165.6
申请日：2004-03-04
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： B41J2/1623 , B41J2/1614 , B41J2/1632 , B41J2/1646 , H01L41/0472 , H01L41/083
摘要： 本发明公开了一种压电元件形成部件。其中，第一内部电极层和第二内部电极层交替层叠同时在两者之间夹入压电层。所述第一内部电极层至少暴露到所述衬底的第一端面，并且第二内部电极层至少暴露到所述衬底的与所述第一端面相对的第二端面。第一外部电极层形成在所述第一端面和连接所述第一端面与所述第二端面的第三端面上。所述第一外部电极层电连接到所述第一内部电极层。第二外部电极层至少形成在所述第二端面和所述第三端面上。所述第二外部电极层电连接到所述第二内部电极层，并且与所述第一外部电极层电独立。所述第一外部电极层和所述第一内部电极层被狭缝分割开，以形成在第一方向上排列的多个压电元件，所述狭缝从所述第一端面延伸出。所述第一外部电极层的一部分和所述第二外部电极层的一部分在所述第一方向上在所述第三端面上相邻。
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公开(公告)号：CN1524039A
公开(公告)日：2004-08-25
申请号：CN02804631.5
申请日：2002-01-24
申请人： 西尔弗布鲁克研究有限公司
发明人： 卡·西尔弗布鲁克
CPC分类号： B41J2/015 , B41J2/04 , B41J2/14 , B41J2/1433 , B41J2/14427 , B41J2/145 , B41J2/16 , B41J2/1614 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1639 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2/1648 , B41J2/16505 , B41J29/12 , B41J2002/14435 , B41J2002/14443 , G01D15/00 , G11B5/127 , Y10T29/49401
摘要： 一种用于喷墨打印机的打印头，具有一个采用微电子机械系统(MEMS)技术制作的喷墨喷嘴(22)阵列(14)。为了保护该精密的喷嘴结构，一个喷嘴防护装置(80)覆盖了该阵列(14)的外表面。在该防护装置(80)中制作一个对应的孔(84)阵列。为把防护装置(80)贴附到设有喷嘴(22)的硅基片(16)上，配置了用于与喷嘴防护装置(80)上面的互补结构相接合的调准结构(148)。为了在该喷嘴(22)和该防护装置(80)中的各个孔(84)之间精确的定位，可以使用与用于制作该喷嘴(22)的同样的蚀刻和沉积技术来形成该调准结构(148)。为保护易损的喷嘴结构(22)在装配过程中免于与支柱的各种不利接触，采用牺牲层(152)来强化喷嘴(22)，该牺牲层随后通过氧等离子蚀刻(154)而去除。
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