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公开(公告)号：CN103732792A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201280038700.9
申请日：2012-08-01
申请人： 3M创新有限公司
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/448
CPC分类号： C23C16/45561 , B01D3/10 , B05D1/60 , B05D2252/02 , C23C14/12 , C23C14/228 , C23C14/24 , C23C14/544 , C23C14/562 , C23C14/58 , C23C14/5806 , C23C14/582 , C23C16/50
摘要： 本发明公开了一种用于处理蒸气的系统。所述系统包括用于产生蒸气的蒸气源和联接到所述蒸气源以运送来自所述蒸气源的蒸气的出口导管。在所述蒸气源的下游，所述出口导管分成蒸气旁路导管和蒸气进料导管。所述系统还包括设置在所述旁路导管中的第一蒸气控制阀、设置在所述进料导管中的第二蒸气控制阀、流体地联接到所述旁路导管的第一真空室、和流体地联接到所述进料导管的第二真空室。
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公开(公告)号：CN1922338B
公开(公告)日：2010-05-05
申请号：CN200580006057.1
申请日：2005-02-25
申请人： 独立行政法人科学技术振兴机构
发明人： 岩村荣治
CPC分类号： C23C14/0605 , C23C14/582 , Y10T428/24132 , Y10T428/26
摘要： 本发明提供一种将特性不同的碳以容易应用于设备的方式进行复合化而得到的新的碳系材料。该碳系薄膜提供一种碳系薄膜(10)，所述碳系薄膜(10)包括：包含非晶体碳且沿膜厚方向伸长的多个第一相(1)；和包含石墨结构且存在于所述多个第一相(1)之间的第二相(2)，且从以下的a)～e)中选择的至少一个成立。第二相(2)比第一相：a)每单位体积包含更多的石墨结构；b)密度大；c)电阻率低；d)第二相(2)的弹性模量大于或等于第一相(1)的弹性模量；e)在第二相(2)中，石墨结构的基面沿膜厚方向取向。
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公开(公告)号：CN103732792B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201280038700.9
申请日：2012-08-01
申请人： 3M创新有限公司
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/448
CPC分类号： C23C16/45561 , B01D3/10 , B05D1/60 , B05D2252/02 , C23C14/12 , C23C14/228 , C23C14/24 , C23C14/544 , C23C14/562 , C23C14/58 , C23C14/5806 , C23C14/582 , C23C16/50
摘要： 本发明公开了一种用于处理蒸气的系统。所述系统包括用于产生蒸气的蒸气源和联接到所述蒸气源以运送来自所述蒸气源的蒸气的出口导管。在所述蒸气源的下游，所述出口导管分成蒸气旁路导管和蒸气进料导管。所述系统还包括设置在所述旁路导管中的第一蒸气控制阀、设置在所述进料导管中的第二蒸气控制阀、流体地联接到所述旁路导管的第一真空室、和流体地联接到所述进料导管的第二真空室。
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公开(公告)号：CN105441891A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201511018533.3
申请日：2015-12-29
申请人： 哈尔滨工业大学
CPC分类号： C23C14/35 , C23C14/022 , C23C14/165 , C23C14/582
摘要： 一种利用强流脉冲电子束在工件表面制备钽合金化固体润滑层的方法，它涉及一种制备钽合金化固体润滑层的方法。本发明的目的是要解决现有在工件表面制备合金化层容易出现微裂纹、摩擦系数大、喷发和层间剥离等表面缺陷的问题。方法：一、将工件与真空室内的旋转靶台相连接；二、电子束辐照清洗；三、磁控溅射预镀钽层；四、电子束辐照合金化；五、将表面合金化的工件放到真空热处理炉中；六、热处理；七、气淬火；八、重复热处理和气淬火，得到工件表面电子束坦合金化层。本发明可获得种利用强流脉冲电子束在工件表面制备钽合金化固体润滑层的方法。
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公开(公告)号：CN101605923B
公开(公告)日：2012-04-25
申请号：CN200780049084.6
申请日：2007-01-02
申请人： 特固克有限会社
CPC分类号： C23C14/582 , C23C14/081 , C23C16/403 , C23C16/56 , Y10T407/27 , Y10T428/24975 , Y10T428/265
摘要： 根据本发明，如果最外陶瓷涂层为к-Al2O3层，那么通过瞬时熔融、蒸发和固化，一定微米的к-Al2O3层转化为α-Al2O3。而且，根据本发明，如果陶瓷涂层的最外涂层为α-Al2O3涂层，那么由于其至少部分熔化，其中该熔化的表面将凝固并且其表面将由于熔融态所提供的表面张力而变平，其表面粗糙度会改善。
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公开(公告)号：CN101605923A
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：CN200780049084.6
申请日：2007-01-02
申请人： 特固克株式会社
CPC分类号： C23C14/582 , C23C14/081 , C23C16/403 , C23C16/56 , Y10T407/27 , Y10T428/24975 , Y10T428/265
摘要： 根据本发明，如果最外陶瓷涂层为κ－Al2O3层，那么通过瞬时熔融、蒸发和固化，一定微米的κ－Al2O3层转化为α－Al2O3。而且，根据本发明，如果陶瓷涂层的最外涂层为α－Al2O3涂层，那么由于其至少部分熔化，其中该熔化的表面将凝固并且其表面将由于熔融态所提供的表面张力而变平，其表面粗糙度会改善。
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公开(公告)号：CN1922338A
公开(公告)日：2007-02-28
申请号：CN200580006057.1
申请日：2005-02-25
申请人： 独立行政法人科学技术振兴机构
发明人： 岩村荣治
CPC分类号： C23C14/0605 , C23C14/582 , Y10T428/24132 , Y10T428/26
摘要： 本发明提供一种将特性不同的碳以容易应用于设备的方式进行复合化而得到的新的碳系材料。该碳系薄膜提供一种碳系薄膜(10)，所述碳系薄膜(10)包括：包含非晶体碳且沿膜厚方向伸长的多个第一相(1)；和包含石墨结构且存在于所述多个第一相(1)之间的第二相(2)，且从以下的a)～e)中选择的至少一个成立。第二相(2)比第一相：a)每单位体积包含更多的石墨结构；b)密度大；c)电阻率低；d)第二相(2)的弹性模量大于或等于第一相(1)的弹性模量；e)在第二相(2)中，石墨结构的基面沿膜厚方向取向。
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