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    液体供给系统
    2.
    发明授权
    液体供给系统 有权

    公开(公告)号：CN103261817B

    公开(公告)日：2015-04-01

    申请号：CN201280003966.X

    申请日：2012-01-16

    申请人： 伊格尔工业股份有限公司

    发明人： 齐藤贤治 ,  西田真司 ,  森浩一

    IPC分类号： F25B9/00 ,  B67D7/82

    CPC分类号： B67D7/82 ,  F04B15/08 ,  F04B43/084 ,  F04B2015/082 ,  F04B2015/0824 ,  F25D17/02 ,  F25D19/00

    摘要： 本发明提供一种节省空间、同时提高冷却效率的液体供给系统。本发明的液体供给系统，在第二容器（120）内部，波纹管（130）的外侧空间构成第一泵室（P1）。第一泵室（P1）上设有将第一容器（110）内的液体（L）吸入第一泵室（P1）内的第一吸入口（121），以及将吸入的液体（L）由第一泵室（P1）内送出至与系统外部连通的供给通路（K1）的第一送出口（122）。波纹管（130）内部的密闭空间构成第二泵室（P2）。第二泵室（P2）上还设有将第一容器（110）内的液体（L）吸入至第二泵室（P2）内的第二吸入口（123），以及将吸入的液体（L）由第二泵室（P2）内送出至供给通路（K1）的第二送出口（124）。

    弹性罐及使用该弹性罐的化学液体供应装置
    3.
    发明授权
    弹性罐及使用该弹性罐的化学液体供应装置 失效

    公开(公告)号：CN100459038C

    公开(公告)日：2009-02-04

    申请号：CN200510066338.8

    申请日：2005-04-22

    申请人： 株式会社小金井

    发明人： 矢岛丈夫

    IPC分类号： H01L21/027 ,  G03F7/16 ,  F04B43/00 ,  F04B23/00

    CPC分类号： F04B43/10 ,  F04B43/0081 ,  F04B43/084

    摘要： 一种具有变容腔的弹性罐，被一个弹性管分隔，该弹性管根据盛装的化学液体的量膨胀和收缩，并在上述弹性管上附有适配部。通向上述变容腔的主侧开孔通向其中的一个适配部，通向上述副侧开孔的变容腔通向另一个适配部。在上述变容腔中的化学液体和空气之间的接触压缩到最小程度，这样盛装上述的化学液体而不会使该化学液体的清洁度变差，并改善了上述化学液体的排放精确度。

    隔膜输送泵和用于隔膜输送泵的泵膜
    4.
    发明公开
    隔膜输送泵和用于隔膜输送泵的泵膜 无效

    公开(公告)号：CN101245775A

    公开(公告)日：2008-08-20

    申请号：CN200810008245.3

    申请日：2008-02-14

    申请人： 加德纳·丹佛·托马斯股份有限公司

    发明人： 奥特文·恩斯特·特劳斯尼 ,  贡特尔·埃里希·施密德

    IPC分类号： F04B43/02 ,  F04B45/04 ,  F04B53/00

    CPC分类号： F04B43/02 ,  F04B43/021 ,  F04B43/08 ,  F04B43/084

    摘要： 一种用于输送流体的输送泵，包括至少一个阀板(4)；至少一个可启动的泵膜(3)，其以流体密封的方式附接到所述至少一个阀板(4)，以用于输送所述输送流体，所述泵膜(3)与所述至少一个阀板(4)一起限定出至少一个泵送室(2)，所述泵膜(3)具有至少一个自由折叠(16)，所述至少一个自由折叠(16)在所述至少一个泵膜(3)的至少一个圆周区域上延伸，以用于改变所述至少一个泵送室(2)的容积；至少一个进口(7)，其设置在所述至少一个阀板(4)内，以用于将所述输送流体引导进入所述至少一个泵送室(2)中；以及至少一个出口(8)，其设置在所述至少一个阀板(4)内，以用于将所述输送流体从所述至少一个泵送室(2)引导出来。

    弹性罐及使用该弹性罐的化学液体供应装置
    5.
    发明公开
    弹性罐及使用该弹性罐的化学液体供应装置 失效

    公开(公告)号：CN1691282A

    公开(公告)日：2005-11-02

    申请号：CN200510066338.8

    申请日：2005-04-22

    申请人： 株式会社小金井

    发明人： 矢岛丈夫

    IPC分类号： H01L21/027 ,  G03F7/16 ,  F04B43/00 ,  F04B23/00

    CPC分类号： F04B43/10 ,  F04B43/0081 ,  F04B43/084

    摘要： 一种具有变容腔的弹性罐，被一个弹性管分隔，该弹性管根据盛装的化学液体的量膨胀和收缩，并在上述弹性管上附有适配部。通向上述变容腔的主侧端口通向其中的一个适配部，通向上述副侧开孔的变容腔通向另一个适配部。在上述变容腔中的化学液体和空气之间的接触压缩到最小程度，这样盛装上述的化学液体而不会使该化学液体的清洁度变差，并改善了上述化学液体的排放精确度。

    定量配料泵
    6.
    发明公开
    定量配料泵 失效 转让

    公开(公告)号：CN1441877A

    公开(公告)日：2003-09-10

    申请号：CN01812575.1

    申请日：2001-06-01

    申请人： 格哈德·耶瑟

    发明人： 格哈德·耶瑟

    IPC分类号： F04B17/04 ,  F04B43/08 ,  F04B43/09 ,  F04B9/02 ,  F04B43/00

    CPC分类号： F04B43/0072 ,  F04B9/02 ,  F04B17/046 ,  F04B43/084 ,  F04B43/09 ,  F16H25/2252

    摘要： 定量配料泵，包括一腔室，一在腔室的入口中的入口阀和一在腔室出口中的排出阀。该腔室通过一分离装置分成两个分腔室(2、18)。在该分离装置中设有连通两分腔室(2、18)的向输送方向打开的分离阀(38)。分离装置可向输送方向来回移动并为此目的与用于分离装置的来回移动的驱动装置相连接。在分离装置移动时定量液体向输送方向通过入口阀(6)吸入并同时通过排出阀(28)排出。此过程平稳无冲击地进行。在分离装置向与输送方向相反的方向往回移动时，定量液体在由两个分腔室(2、18)构成的腔室内实际上保持静止，从而使得总的来说实际上没有定量液体移动，除了分离装置通过位于腔室内的定量液体移动之外。

    液体供给系统
    7.
    发明公开
    液体供给系统 有权

    公开(公告)号：CN106662372A

    公开(公告)日：2017-05-10

    申请号：CN201580033846.8

    申请日：2015-07-09

    申请人： 伊格尔工业股份有限公司

    发明人： 森浩一 ,  大泽芳夫 ,  古田清隆

    IPC分类号： F25B9/00 ,  F04B15/08 ,  F04B43/08

    CPC分类号： F04B15/08 ,  F04B43/08 ,  F04B43/084 ,  F04B43/088 ,  F04B45/024 ,  F04B2015/081 ,  F25B9/00

    摘要： 本发明提供一种能提高泵功能的液体供给系统，具备在伸缩方向上串联配置在容器(12)的内部，相互接近侧的各自第一端部被分别固定于容器(12)的内壁，并且相互远离侧的各自第二端部能分别在伸缩方向上移动的第一波纹管(41)和第二波纹管(42)，在容器(12)内，第一波纹管(41)的外侧形成第一泵室(P1)，第二波纹管(42)的外侧形成第二泵室(P2)，第一波纹管(41)和第二波纹管(42)的内侧形成密闭空间(R1)，通过分别固定有第二端部的轴(15)的往复移动而分别进行伸缩。

    波纹管泵
    8.
    发明授权
    波纹管泵 有权

    公开(公告)号：CN102325999B

    公开(公告)日：2014-03-12

    申请号：CN201080009008.4

    申请日：2010-02-02

    申请人： 日本皮拉工业株式会社

    发明人： 桂将义 ,  中野笃 ,  足立智大

    IPC分类号： F04B43/10 ,  F04B43/08

    CPC分类号： F04B43/084 ,  F04B43/0072 ,  F04B43/086 ,  F04B45/02 ,  F04B45/022

    摘要： 提供不使性能降低、不会增加成本和设置场所面积且抑制对吸入以及排出进行切换时产生的冲击振动的被改进了的波纹管泵。该波纹管泵，具有：泵体(1)，其具有流体的吸入通道(12)和排出通道(13)；波纹管(2)，其基端凸缘(2a)气密地固定在泵体(1)上，且在波纹管(2)与所述泵体(1)之间形成泵室(11)；动作板(15)，其安装在波纹管(2)的头部(2c)上，使波纹管(2)相对于泵体(1)进行伸缩运动，将头部(2c)形成为悬空底的形状而在头部(2c)与动作板(15)之间形成气密状的空间部(19)，通过与空间部(19)相面对的薄壁头部(2c)的弹性膜变形，使空间部(19)缩小，由此吸收缓和压力上升。