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    场效应晶体管和包括多个场效应晶体管的气体检测器
    1.
    发明授权
    场效应晶体管和包括多个场效应晶体管的气体检测器 有权

    公开(公告)号：CN105474006B

    公开(公告)日：2017-10-27

    申请号：CN201480031221.3

    申请日：2014-05-26

    申请人： CSIR公司

    发明人： B·W·穆瓦凯昆伽

    IPC分类号： G01N27/414

    CPC分类号： G01N27/4141 ,  G01N27/4146

    摘要： 一种场效应晶体管，包括源，源包括之间具有空隙的多个电极突起。漏包括多个电极突起，所述漏的每个电极突起位于源的电极突起之间的一个空隙中，由此形成交替的漏和源突起的源‑漏电极连接区域。栅与源‑漏电极区域间隔开，由此在栅和源‑漏电极连接区域之间形成沟道，其中栅与所述沟道平行。多个纳米结构位于源‑漏电极区域中，由此在源‑漏电极连接区域中的漏和源的电极突起之间形成电连接。本发明还包括气体检测器，气体检测器包括位于衬底上的如上所述的多个场效应晶体管。

    化学敏感场效应晶体管传感器
    3.
    发明公开
    化学敏感场效应晶体管传感器 无效

    公开(公告)号：CN106233464A

    公开(公告)日：2016-12-14

    申请号：CN201580022594.9

    申请日：2015-06-03

    申请人： 加利福尼亚大学董事会

    发明人： 侯赛因·法哈德 ,  A·吉维 ,  白木宏

    IPC分类号： H01L27/14

    CPC分类号： G01N27/4141 ,  G01N27/4148

    摘要： 用于使用高灵敏性、小尺寸且具有低能耗的化学敏感场效应晶体管(CS-FET)设备的阵列的多种气体或蒸汽的化学传感的系统和方法。传感器层为形成硅衬底上的源极和漏极之间的过渡金属氧化物、稀土金属氧化物或金属纳米粒子的超薄膜。传感器层的功函数可以通过在其表面上的化学物质的吸附来操控。这些变化引起下层硅沟道的表面电位的变化，从而实现设备的电流调制。通过选择适合的传感器层，不同的化学物质会产生不同的输出信号。这些信号的外部信号处理的使能以及传感器和阵列轮廓匹配使得可以进行多气体检测。

    一种气氛可控多器件场效应晶体管密封测试装置
    5.
    发明公开
    一种气氛可控多器件场效应晶体管密封测试装置 有权

    公开(公告)号：CN105973967A

    公开(公告)日：2016-09-28

    申请号：CN201610557234.5

    申请日：2016-07-15

    申请人： 中国科学院福建物质结构研究所

    发明人： 姚明水 ,  徐刚

    IPC分类号： G01N27/414

    CPC分类号： G01N27/4141

    摘要： 本发明公开了一种气氛可控多器件场效应晶体管(FET)密封测试装置，属于物理测试技术领域。装置分为两个部分：气氛控制单元，包括进气管、出气管、真空表和真空泵；测试单元，包括样品台和电极引出装置，样品台与电极引出装置连接，电极引出装置引出的电极线与数字源表的连接。本装置使用气氛可控，与湿度发生罐、标准气配合能实现不同气氛的调节，与真空泵配合可实现真空气氛，利于质子型FET，气敏FET的性能表征。整个装置可设计为金属环绕，实现法拉第笼的电磁屏蔽功能，利于纳安及以下的精细电流测量。本装置还可实现多个器件同时测量。

    一种含有功能绝缘层的有机场效应管氨气传感器
    6.
    发明公开
    一种含有功能绝缘层的有机场效应管氨气传感器 无效

    公开(公告)号：CN105334257A

    公开(公告)日：2016-02-17

    申请号：CN201510826827.2

    申请日：2015-11-25

    申请人： 电子科技大学

    发明人： 于军胜 ,  韩世蛟 ,  范惠东 ,  张磊

    IPC分类号： G01N27/414

    CPC分类号： G01N27/4141

    摘要： 本发明公开了一种含有功能绝缘层的有机场效应管氨气传感器，包括从下至上依次设置的衬底、绝缘层a、功能绝缘层、绝缘层b、有机半导体层，有机半导体层上设置有源电极和漏电极，衬底与绝缘层a之间还设置有栅电极，所述绝缘层a、绝缘层b由不含羟基的聚合物绝缘材料构成，所述功能绝缘层由含羟基的聚合物绝缘材料构成。本发明通过在两层绝缘层之间引入含有羟基的绝缘层材料，提高了有机场效应管的气敏特性；当氨气分子渗入到绝缘层/有机半导体层界面时，功能绝缘层中的羟基含有的-OH会发生反转，从而诱导出相应数量的空穴电荷，导致器件的饱和电流，迁移率等参数改变，从而实现对氨气的检测。

    一种有机单分子层薄膜场效应气体传感器及制备方法
    8.
    发明公开
    一种有机单分子层薄膜场效应气体传感器及制备方法 有权

    公开(公告)号：CN104297320A

    公开(公告)日：2015-01-21

    申请号：CN201310302782.X

    申请日：2013-07-17

    申请人： 国家纳米科学中心

    发明人： 江潮 ,  王嘉玮 ,  米斯巴·莫扎 ,  李德兴

    IPC分类号： G01N27/414

    CPC分类号： G01N27/4141

    摘要： 本发明涉及一种有机单分子层薄膜场效应气体传感器及制备方法。所述气体传感器组成结构由下至上包括衬底、栅电极、介电层、活性层及源漏电极，所述活性层为有机单分子薄膜层。所述制备方法采用真空蒸镀的方法在介电层上蒸镀有机单分子薄膜层；蒸镀时，首先将蒸发源加热至目标温度（如123℃），待沉积速率稳定后开启束流挡板开始蒸镀；控制蒸镀时间以得到有机单分子薄膜层作为活性层。根据本发明的技术方案，通过将并五苯单分子层作为活性层的气体传感器，使得活性层中所有的并五苯分子都能够与外界接触。传感器工作时，并五苯分子将不受阻挡地与被探测气体直接相互作用，并能灵敏地将这种相互作用反映在其薄膜晶体管输出曲线的变化中。

    探测来自气体混合物的气体的气体浓度的方法和控制设备
    9.
    发明授权
    探测来自气体混合物的气体的气体浓度的方法和控制设备 有权

    公开(公告)号：CN102081065B

    公开(公告)日：2014-12-24

    申请号：CN201010565463.4

    申请日：2010-11-30

    申请人： 罗伯特.博世有限公司

    发明人： P.内夫 ,  M.威登迈耶

    IPC分类号： G01N27/414

    CPC分类号： G01N27/4141

    摘要： 本发明涉及探测来自气体混合物的气体的气体浓度的方法和控制设备。该方法包括步骤：提供具有第一工作温度的气体探测器；将气体混合物输送给气体探测器，其中由在第一工作温度下的气体探测器测量来自所述气体混合物的气体的气体浓度并且表征性的第一信号被提供；将气体探测器的工作温度改变为与第一工作温度不同的第二工作温度或者提供具有第二工作温度的其它气体探测器；将气体混合物引向气体探测器或者其它气体探测器，其中由在第二工作温度下的气体探测器或者其它气体探测器测量来自所述气体混合物的气体的气体浓度并且表征性的第二信号被提供；在使用与第一信号相关的第一浓度值和与第二信号相关的第二浓度值的情况下确定所述气体的气体浓度。