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公开(公告)号:CN101410898B
公开(公告)日:2012-10-31
申请号:CN200780010422.5
申请日:2007-03-30
申请人: 国际商业机器公司
发明人: 厄尔斯·T·杜里格 , 伯恩德·W·戈特斯曼 , 阿明·W·诺尔
IPC分类号: G11B9/00
CPC分类号: G11B3/705 , B05D1/286 , B29C33/60 , B29C43/00 , B82Y10/00 , C09D165/00 , G11B3/72 , G11B9/1472 , G11B9/149 , G11B11/002
摘要: 本发明提供一种制造数据存储介质的方法,包括步骤:a)涂覆包括聚合物材料的层(2)到模板表面(1)的至少一部分上,由此得到改性的模板表面(2’);b)夹住目标表面(3)与步骤(a)中制造的所述改性的模板表面(2’),由此得到一组件;以及c)引入液体(4)到步骤(b)中获得的所述组件的周围,由此将所述改性的模板表面(2’)的包括聚合物材料的层(2)转移到所述目标表面(3)上的至少一相邻区域上。
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公开(公告)号:CN101410898A
公开(公告)日:2009-04-15
申请号:CN200780010422.5
申请日:2007-03-30
申请人: 国际商业机器公司
发明人: 厄尔斯·T·杜里格 , 伯恩德·W·戈特斯曼 , 阿明·W·诺尔
IPC分类号: G11B9/00
CPC分类号: G11B3/705 , B05D1/286 , B29C33/60 , B29C43/00 , B82Y10/00 , C09D165/00 , G11B3/72 , G11B9/1472 , G11B9/149 , G11B11/002
摘要: 本发明提供一种制造数据存储介质的方法,包括步骤:a)涂覆包括聚合物材料的层(2)到模板表面(1)的至少一部分上,由此得到改性的模板表面(2’);b)夹住目标表面(3)与步骤(a)中制造的所述改性的模板表面(2’),由此得到一组件;以及c)引入液体(4)到步骤(b)中获得的所述组件的周围,由此将所述改性的模板表面(2’)的包括聚合物材料的层(2)转移到所述目标表面(3)上的至少一相邻区域上。
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公开(公告)号:CN101675174A
公开(公告)日:2010-03-17
申请号:CN200880011800.6
申请日:2008-02-13
申请人: 耶鲁大学
IPC分类号: C21D1/00
CPC分类号: G11B3/705 , C21D6/04 , C21D2221/00 , C22C45/00 , C22C45/001 , C22C45/003 , C22C45/02 , C22C45/04 , C22C2200/02 , Y10T428/12389
摘要: 本发明涉及使用非晶态金属材料进行压印光刻的材料、方法和设备。可使用该非晶态金属材料作为压印介质,并且在图案转印工序期间施加热塑性成形加工以便在非晶态金属层中产生微米级和纳米级图案。图案转印是直接掩模压纹形式或者通过连续纳米压痕加工。还公开了重写加工,其涉及通过二次热塑性成形加工实现的擦除机制。还可以直接使用该非晶态金属材料作为压印光刻中的压纹模版以允许大批量的压印纳米制造。本发明还包括在单独表面张力的作用下使表面平滑的方法。
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