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公开(公告)号：CN115342793B
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202210841132.1
申请日：2022-07-18
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： G01C19/5607 , G01C19/5628
摘要： 一种抗干扰双端音叉石英振动陀螺，包括驱动音叉和检测音叉；驱动音叉末端设有驱动音叉质量块，驱动音叉首端的驱动音叉胯部和连接框架一端连接，连接框架另一端和检测音叉首端的检测音叉跨部连接，检测音叉末端设有检测音叉质量块，连接框架内部通过V形支撑梁与锚固部分连接，锚固部分位于陀螺整体中间位置；连接框架设有两侧向外凸出的结构，锚固部分包括两侧及中间的卸载槽，检测音叉胯部中间位置设有隔振横梁；本发明能够减小由驱动端传递到检测端的正交耦合误差信号，信噪比高、抗外界干扰能力强。
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公开(公告)号：CN113607150B
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202110829952.4
申请日：2021-07-22
申请人： 北京理工大学
IPC分类号： G01C19/5607 , G01C19/5614 , G01C19/5656
摘要： 本发明涉及一种时分驱动和正交力反馈闭环的石英陀螺误差抑制方法，属于微机械惯性器件技术领域。包括1)驱动软件单元和驱动模块输出时分的正弦驱动激励信号，在相邻时间周期内交替输出正弦驱动激励信号和零电平信号；2)当驱动激励信号处于无信号的周期时段，检测模块开始进行信号检测，得到检测信号的同相分量和正交分量；3)建立同相和正交信号PI闭环控制，分别生成同相和正交力反馈闭环信号，再经数模转换生成力反馈闭环信号；4)将力反馈信号加载到石英音叉检测端进行力反馈闭环控制，使得石英音叉检测端位移为零。所述方法实现了对陀螺静电耦合和机械耦合误差的抑制，有效改善了陀螺的零位漂移且电路易实现。
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公开(公告)号：CN113225080B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202110052918.0
申请日：2021-01-15
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： H03M1/12 , G01C19/5607 , G01C19/5614 , G01P15/14
摘要： 提供物理量检测电路及其动作方法、物理量传感器，能够抑制模拟/数字转换的精度的降低。物理量检测电路具有：模拟/数字转换电路，其具有输入电容，并且将模拟信号采样到输入电容而转换为数字信号；预充电电路，其在模拟/数字转换电路将模拟信号采样到输入电容之前，对输入电容进行预充电；数字运算电路，其对数字信号进行运算处理；以及基准电压电路，其向预充电电路和数字运算电路提供电源电压，数字运算电路的运算处理开始定时和运算处理结束定时被设定为避开预充电电路对输入电容进行预充电的预充电期间的定时。
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公开(公告)号：CN110333370B
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN201910242626.6
申请日：2019-03-28
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： G01P15/14 , G01C19/5607
摘要： 本发明提供一种传感器元件、物理量传感器、电子设备以及移动体。该传感器元件具有：基部；驱动臂，其经由从所述基部起在第1轴上延伸的连结臂而连接；第1检测臂和第2检测臂，在所述平面观察时，该第1检测臂从所述基部起朝与所述第1轴垂直的第2轴的正方向延伸，该第2检测臂朝所述第2轴的负方向延伸；驱动信号布线，在所述平面观察时，所述驱动信号布线在所述基部沿着所述第1轴配置；以及第1检测信号布线和第2检测信号布线，在所述平面观察时，它们配置于所述基部，所述第1检测信号布线和所述第2检测信号布线的形状与在所述平面观察时关于所述第1轴线对称的形状不同。
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公开(公告)号：CN112236644A
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN201980038499.6
申请日：2019-06-12
申请人： 京瓷株式会社
IPC分类号： G01C19/5607 , H01L41/113
摘要： 在传感器元件的压电体中，2条驱动臂从基部向+y侧相互并列地延伸部。2条检测臂从基部向‑y侧相互并列地延伸。保持部在2条检测臂之间从基部向‑y侧延伸，比2条检测臂的前端更向‑y侧延伸出。安装部与‑y侧的端部连接，配置有多个元件端子。保持部具有主部以及连接部。在将x方向的长度设为宽度时，主部维持与位于2条检测臂的前端之间的部分的宽度同程度以上的宽度，并从2条检测臂的前端之间向基部侧延伸。连接部连接于主部和基部，宽度比主部宽。
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公开(公告)号：CN105509724B
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201510851227.1
申请日：2015-11-30
申请人： 上海新跃仪表厂
IPC分类号： G01C19/5607
摘要： 本发明公开一种集成化金属振动陀螺仪，该陀螺仪包含：金属谐振子固定基座；金属谐振子，其通过支撑柱与金属谐振子固定基座固定；控制电路板，其与金属谐振子固定基座固定连接；缓冲电路板，采用柔性印制板，其设置于金属谐振子固定基座底面，并与控制电路板通过柔性印制线电路连接；陀螺外罩，其机械连接金属谐振子固定基座，在内部形成容置空间，金属谐振子、控制电路板设置于该容置空间中。本发明采用集成化设计，将陀螺敏感器件与控制电路直接集成在同一陀螺外罩内部，结构紧凑，大幅降低了陀螺仪体积，同时陀螺集成化设计简化了陀螺组合系统层级的安装工艺，提高了安装效率和可靠性。
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公开(公告)号：CN103363973B
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201310089719.2
申请日：2013-03-20
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： G01C19/5607
摘要： 本发明提供振动片及其制造方法、陀螺仪传感器、电子设备及移动体，能够在不降低输出信号的强度的情况下提高输出信号的S/N比。振动片(15)具备检测用振动臂（26a、26b）。在检测用振动臂(26a、26b)上设置有电极(41a、41b)。与电极(41a、41b)连接着布线(45a、45b)。布线(45a、45b)配置在基部(25)的压电体上。布线(45a、45b)的至少一部分是调整用电极(54a、54b)。调整用电极(54a、54b)生成与检测用振动臂(26a)的泄漏振动的输出信号相反相位的电信号。
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公开(公告)号：CN104596491B
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：CN201410601643.1
申请日：2014-10-30
申请人： 精工爱普生株式会社
发明人： 松尾敦司
IPC分类号： G01C19/5607 , G01C19/5614 , G01C19/5621
摘要： 本发明涉及一种振动片、角速度传感器、电子设备以及移动体。振动片包括在压电体的厚度方向(Z)上对置的第一主面(11)以及第二主面，并且具有在检测时沿着厚度方向(Z)进行振动的检测部。检测部具有：槽部，其在从被形成于第一主面上的开口起的深度方向上，于超过第一主面与第二主面之间的中立面的位置处具有槽底；内侧面电极，其被设置于面向槽部内的内侧面上；外侧面电极，其被形成于隔着压电体而与内侧面对置的外侧面上；一对槽底电极，其面向槽部并在与中立面相比靠槽底侧处互相隔开间隔而设置。
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公开(公告)号：CN104634337B
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：CN201410642926.0
申请日：2014-11-07
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： G01C19/5607 , G01C19/5614
摘要： 本发明提供一种检测装置、传感器、电子设备以及移动体。检测装置包括：接收来自物理量转换器的反馈信号并驱动物理量转换器的驱动电路、接收来自物理量转换器的检测信号并检测出所需信号的检测电路、对驱动电路中的AGC回路的导通/断开进行控制的控制部。驱动电路在AGC回路的断开期间内，将基于在AGC回路的导通期间内由AGC回路所设定的控制电压的驱动信号向物理量转换器输出，从而驱动物理量转换器。
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公开(公告)号：CN103363974B
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201310094984.X
申请日：2013-03-22
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： G01C19/5607
CPC分类号： G01C19/5607 , G01C19/5621 , H01L41/08 , H01L41/0825 , H01L41/094 , H01L41/1132 , H01L41/1136
摘要： 本发明提供振动片、陀螺仪传感器、电子设备和移动体。作为课题，如果仅通过1对悬臂来支撑基部，则无法最大限度地引起第2振动臂的运动。驱动系统的布线和检测系统的布线混合安装在1对悬臂上，振动片的噪声特性和温度特性劣化。作为解决手段，第1振动臂（26a、26b）从基部（25）起沿着第1方向（D1）延伸。第2振动臂（27a、27b）从基部（25）起沿着第2方向（D2）延伸。第1悬臂（32a、32b）从固定部（19）起延伸，并与基部（25）的第1连接部（34）连接。第2悬臂（33a、33b）从固定部（19）起延伸，并与基部（25）的第2连接部（37）连接。
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