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公开(公告)号：CN103760383B
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201410009253.5
申请日：2014-01-09
申请人： 西南交通大学
IPC分类号： G01Q30/12
摘要： 一种用于原子力显微镜的气氛控制系统，其特征在于：气体瓶一（1a）和气体瓶二（1b）分别通过流量计一（3a）、流量计二（3b）与混合气管（4）的进气口相连，混合气管（4）的出气口通过进气腔（6）与原子力显微镜上的气氛腔（7）的进气口相连。该系统能为原子力显微镜提供不同气体、各种比例组成的可控混合气氛，从而使原子力显微镜能进行各种比例的不同气体组成的混合气氛下微机电系统的磨损失效、防护机理的模拟试验与研究，从而为相应混合气氛工作中的微机电系统的设计、制造与维护提供更准确、可靠的试验依据，以降低微机电系统的磨损，提高微机电系统的使用寿命。
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公开(公告)号：CN107076778A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201580049517.2
申请日：2015-07-14
申请人： 新泽西鲁特格斯州立大学
CPC分类号： G01Q10/065 , G01Q60/34
摘要： 一种使用高速动态模式原子力显微镜以使样本成像的方法可以包括在样本的表面上方扫描悬臂探针的尖端；经由第一反馈控制器中产生的第一信号来调节所述尖端的振动振幅，以便保持恒定在设定点值(Aset)；测量所述尖端的平均敲击偏移；经由第二反馈控制器中产生的第二信号来调节所述平均敲击偏移；跟踪并测量在调节期间对所测量的平均敲击偏移的调节。该方法还包括基于所述第一信号、所述第二信号和所测量的对悬臂探针的所述平均敲击偏移的调节来生成所述样本的图像形貌。
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公开(公告)号：CN106771374A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201710126774.2
申请日：2017-02-24
申请人： 金华职业技术学院
摘要： 本发明涉及原子力显微镜领域，一种低噪声的样品相对湿度连续可调的原子力显微镜由湿度控制器连通原子力显微镜组成，所述湿度控制器主要包括气体入口、气体出口、管路三通、干气路流量调节器、湿气路流量调节器、超声喷雾器、气体混合室、温度及湿度感应器、隔离减震器及通气管路，所述原子力显微镜主要包括扫描腔、悬臂及针尖、控制电路、样品，所述湿气路流量调节器、干气路流量调节器与由计算机控制的马达连接且能够控制气体流速。本发明通过用超声喷雾器来产生水饱和气体，通入原子力显微镜扫描腔的气流更平稳，噪声小；气流的相对湿度和温度在气体混合室I和气体混合室II中分别测量，使得气体及样品表面的湿度及温度更容易控制且精度更高。
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公开(公告)号：CN102483428B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201080039165.X
申请日：2010-08-27
申请人： 于利奇研究中心有限公司
摘要： 用于测量由样品引起的力相互作用的方法，其中尖峰被施加相对样品的偏置电压并且以如此小的距离被引导向样品，使得可测量的电流在尖峰和样品之间流过并且传感器和信号转换器S被构成并且在力相互作用的范围中被使用，所述传感器和信号转换器S根据力相互作用的强度改变流过尖峰样品接触的电流。公开了对此的扫描隧道显微镜。
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公开(公告)号：CN102483428A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201080039165.X
申请日：2010-08-27
申请人： 于利奇研究中心有限公司
摘要： 用于测量由样品引起的力相互作用的方法，其中尖峰被施加相对样品的偏置电压并且以如此小的距离被引导向样品，使得可测量的电流在尖峰和样品之间流过并且传感器和信号转换器S被构成并且在力相互作用的范围中被使用，所述传感器和信号转换器S根据力相互作用的强度改变流过尖峰样品接触的电流。公开了对此的扫描隧道显微镜。
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公开(公告)号：CN111257596B
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN202010115921.8
申请日：2020-02-25
申请人： 西南交通大学
摘要： 本发明公开了一种扫描探针显微镜狭小实验腔环境气氛精确控制装置，包括第一进气口、第二进气口、主气体管道、辅气体管道、加湿气体管道、气体循环管道、外置混合腔、实验腔和传感反馈系统。第一进气口通过主气体管道与外置混合腔相连。第二进气口通过辅气体管道与外置混合腔相连。辅气体管道在经过辅气体电磁换向阀后单独分出一支加湿气体管道，加湿气体管道另一端与外置混合腔相连。气体循环管道一端与外置混合腔相连，另一端与实验腔相连。传感反馈系统连接外置混合腔内部的气体浓度传感器，并控制主气体电磁换向阀和辅气体电磁换向阀。本发明能够实现氮气、氧气、氢气、氩气、水蒸气、酒精蒸汽等单一或两者混合的环境气氛的精确制备。
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公开(公告)号：CN103760383A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201410009253.5
申请日：2014-01-09
申请人： 西南交通大学
IPC分类号： G01Q30/12
摘要： 一种用于原子力显微镜的气氛控制系统，其特征在于：气体瓶一（1a）和气体瓶二（1b）分别通过流量计一（3a）、流量计二（3b）与混合气管（4）的进气口相连，混合气管（4）的出气口通过进气腔（6）与原子力显微镜上的气氛腔（7）的进气口相连。该系统能为原子力显微镜提供不同气体、各种比例组成的可控混合气氛，从而使原子力显微镜能进行各种比例的不同气体组成的混合气氛下微机电系统的磨损失效、防护机理的模拟试验与研究，从而为相应混合气氛工作中的微机电系统的设计、制造与维护提供更准确、可靠的试验依据，以降低微机电系统的磨损，提高微机电系统的使用寿命。
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公开(公告)号：CN111879797A
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN202010869758.4
申请日：2020-08-26
申请人： 厦门大学
摘要： 本发明涉及一种透射电镜高分辨原位流体扰流加热芯片，其结构为上片和下片通过金属键合层组合，自封闭形成一个超薄的腔室；上片有两个注样口和一个上中心视窗；下片设置有流体入口、流体出口、流体流道、下中心视窗、微扰流柱阵列、加热层和绝缘层；加热层有四个接触电极及螺旋环形加热丝；在以下中心视窗为中心，且在螺旋环形加热丝中心区域内；流体入口与流体出口关于中心视窗对称布置，下中心视窗位于加热层的中心处；下中心视窗上有微扰流柱阵列，该芯片具有快速升降温，分辨率高，温度控制精准、流体流向可控，样品漂移率低的优点。
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公开(公告)号：CN107076778B
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN201580049517.2
申请日：2015-07-14
申请人： 新泽西鲁特格斯州立大学
摘要： 一种使用高速动态模式原子力显微镜以使样本成像的方法可以包括在样本的表面上方扫描悬臂探针的尖端；经由第一反馈控制器中产生的第一信号来调节所述尖端的振动振幅，以便保持恒定在设定点值(Aset)；测量所述尖端的平均敲击偏移；经由第二反馈控制器中产生的第二信号来调节所述平均敲击偏移；跟踪并测量在调节期间对所测量的平均敲击偏移的调节。该方法还包括基于所述第一信号、所述第二信号和所测量的对悬臂探针的所述平均敲击偏移的调节来生成所述样本的图像形貌。
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公开(公告)号：CN111257596A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN202010115921.8
申请日：2020-02-25
申请人： 西南交通大学
摘要： 本发明公开了一种扫描探针显微镜狭小实验腔环境气氛精确控制装置，包括第一进气口、第二进气口、主气体管道、辅气体管道、加湿气体管道、气体循环管道、外置混合腔、实验腔和传感反馈系统。第一进气口通过主气体管道与外置混合腔相连。第二进气口通过辅气体管道与外置混合腔相连。辅气体管道在经过辅气体电磁换向阀后单独分出一支加湿气体管道，加湿气体管道另一端与外置混合腔相连。气体循环管道一端与外置混合腔相连，另一端与实验腔相连。传感反馈系统连接外置混合腔内部的气体浓度传感器，并控制主气体电磁换向阀和辅气体电磁换向阀。本发明能够实现氮气、氧气、氢气、氩气、水蒸气、酒精蒸汽等单一或两者混合的环境气氛的精确制备。
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