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公开(公告)号:CN1518684A
公开(公告)日:2004-08-04
申请号:CN02812555.X
申请日:2002-06-06
申请人: 国际商业机器公司
发明人: 李文杰 , 普什卡拉·R·瓦拉纳西 , 陈光军
IPC分类号: G03F7/004 , G03C5/00 , C07C381/00 , C07C315/00 , C07C331/00
CPC分类号: C07C381/00 , C07C2603/74 , C07D333/34 , G03F7/0045 , G03F7/0382 , G03F7/0397 , Y10S430/122
摘要: 具有任一下述通式的含噻吩的光酸生成剂,其中,R1、R2或R3中至少有一个是噻吩或被烷基、烷氧基或环烷基取代的噻吩,不含噻吩部分的其余R1、R2或R3独立地选自烷基、环烷基和芳基,或者R1、R2或R3中至少有一个结合在一起形成具有约4至约8个环碳原子的环状部分;Y是抗衡离子,本发明还公开了该光酸生成剂在化学放大的抗蚀剂组合物中的应用。
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公开(公告)号:CN100432837C
公开(公告)日:2008-11-12
申请号:CN02812555.X
申请日:2002-06-06
申请人: 国际商业机器公司
发明人: 李文杰 , 普什卡拉·R·瓦拉纳西 , 陈光军
IPC分类号: G03F7/004 , G03C5/00 , C07C381/00 , C07C315/00 , C07C331/00
摘要: 具有任一下述通式的含噻吩的光酸生成剂,其中,R1、R2或R3中至少有一个是噻吩或被烷基、烷氧基或环烷基取代的噻吩,不含噻吩部分的其余R1、R2或R3独立地选自烷基、环烷基和芳基,或者R1、R2或R3中至少有一个结合在一起形成具有约4至约8个环碳原子的环状部分;Y是抗衡离子,本发明还公开了该光酸生成剂在化学放大的抗蚀剂组合物中的应用。
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公开(公告)号:CN104736517A
公开(公告)日:2015-06-24
申请号:CN201380052441.X
申请日:2013-10-09
申请人: 美国陶氏益农公司
IPC分类号: C07C331/00
摘要: 本申请提供由氯甲酸烷基酯和硫氰酸盐在甲苯中通过控制水和催化剂的量来制备烷氧羰基异硫氰酸酯的方法。
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