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公开(公告)号：CN113504394B
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202110787431.7
申请日：2021-07-12
申请人： 中国科学院半导体研究所
摘要： 本公开提供了一种镀膜探针的圆片级制备方法及镀膜探针，制备方法包括：在圆片级的衬底上形成针尖图形掩膜和补偿结构图形掩膜；形成针尖原胚结构和补偿结构；锐化针尖；背面各向异性深刻蚀体硅层；正面刻蚀埋氧层的裸露区域及体硅层；去除正面深刻蚀掩膜层和背面深刻蚀掩膜层，形成基座和悬臂梁；在针尖的表面镀膜，形成镀膜针尖，完成镀膜探针的圆片级制备。采用该种制备方法，实现了探针的可靠制备，该方法操作简单、可靠；通过优化薄膜沉积条件，实现三维结构中不同功能薄膜材料的保形沉积，可广泛应用于原子探针、纳米针尖阵列等的制作中。
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公开(公告)号：CN115814718A
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202211392081.5
申请日：2022-11-08
申请人： 电子科技大学长三角研究院(湖州)
摘要： 本发明涉及胶体探针制备技术领域，具体涉及一种超粒子胶体探针的制备方法，包括以下步骤：步骤1、制备超粒子胶体颗粒；步骤2、对超粒子胶体颗粒进行表征；步骤3、制备超粒子胶体探针。此超粒子胶体探针的制备无需复杂的化学合成步骤，仅利用超疏水表面上的胶体液滴蒸发过程中的自组装行为，即可方便地制备不同尺寸的胶体颗粒，可高效地满足不同场景的需求。因此，此超粒子胶体探针相比传统的胶体探针有更广阔的适用范围，有更大的性价比。
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公开(公告)号：CN115128305A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202210735772.4
申请日：2017-08-09
申请人： 提普泰克有限责任公司
摘要： 描述用于扫描探针和电子显微镜(SPEM)探针针尖的经济型制造的方法。在这种方法中，将多个金属丝安装在台上并且在所述台和所安装的探针相对于离子源以选定角度倾斜并旋转的同时对所述多个金属丝进行离子研磨。还描述了所得探针。所述方法提供多组非常均一的探针针尖，所述探针针尖具有可控的性质以实现稳定而精确的扫描探针测量和电子显微镜(EM)测量。
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公开(公告)号：CN114280333A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202110322997.2
申请日：2021-03-25
申请人： 华侨大学
摘要： 本发明公开了一种超细磨料与半导体晶圆的粘附力的测试方法，包括如下步骤：(1)获得磨料分散液；(2)吸取上述磨料分散液滴在载玻片上并干燥，然后将胶水均匀滴在载玻片上；(3)观测干燥的分散液中的磨粒的状态、分布情况以及胶水的位置，同时选择磨粒并记录其位置；(4)手动调节探针下降至胶水的位置，使探针蘸取胶水；(5)将蘸取胶水的探针移动至磨粒所处的位置的上方，调节探针下降以粘取该磨粒；(6)使胶水原位固化，获得磨粒固化探针；(7)用磨粒固化探针在拉曼原子力显微连用系统进行在线测试实验。本发明的方法可以在拉曼模式下对磨粒进行可视化挑选，原子力显微模式下实现原子层面间的粘附力检测。
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公开(公告)号：CN111060720B
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN201911364182.X
申请日：2019-12-26
申请人： 西南交通大学
摘要： 本发明公开一种源于石墨烯边缘的微纳结构扫描探针加工方法，应用于石墨烯微纳加工领域，针对现有技术不能完全满足对未来柔性器件的高可靠，高稳定和低成本的极限加工要求；本发明选用具有较强表面化学活性的探针作为加工工具，按照设定加工轨迹从石墨烯边缘向内部进行刻划加工，利用刻划加工过程中探针与石墨烯边缘碳原子之间的摩擦化学反应，在低于石墨烯机械破坏强度的低接触压力下去除接触区域碳原子，采用本发明方法加工的微纳结构的机械和电学性能与石墨烯基体一致。
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公开(公告)号：CN109073675B
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN201680080587.9
申请日：2016-12-13
申请人： 米纳斯吉拉斯联合大学 , 国家计量 , 质量和技术学院-INMETRO
发明人： T·德劳伦克依瓦斯康塞罗斯 , B·桑托斯德奥利维拉 , C·阿尔伯托阿切特 , B·索雷斯阿切乔 , A·胡里奥德瓦斯康塞罗斯 , L·G·德奥利维拉洛佩茨坎卡多 , W·努内斯罗德里格斯 , C·阿兰德斯达斯尔瓦威特斯泰因 , R·瓦拉斯基 , C·拉贝洛伊斯尔瓦
摘要： 本发明涉及用于扫描探针显微术的装置及其制造方法。该金属装置包括具有两个部分(2)和(3)的单独体(1)，其中第二部分(3)具有限定出纳米级顶端(7)的亚微米点(4)。本发明还提供了一种制造用于扫描探针显微术的高光学效率探针的方法。
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公开(公告)号：CN108196093B
公开(公告)日：2021-01-12
申请号：CN201711428390.2
申请日：2017-12-26
申请人： 北京阳光凯特科贸有限公司
IPC分类号： G01Q70/16
摘要： 本发明涉及一种用于金属纳米探针的制备的辅助装置，特别是辅助纳米探针制备的一种全自动、实时监控、自动声音提示装置，属于凝聚态物理实验科学仪器领域,包括以探针体作为阳极的电解池和电源，电源连接电解池并构成电解回路；所述电源包括响应机构、放大电路和比较电路；所述放大电路和比较电路均与响应机构电连接，放大电路用于放大电解电路中的电流以启动响应机构，比较电路比较设定值与电解电路中的电流以停止或开启响应机构。全程一键启动，自动完成，带声光提示，极大降低实验人员的工作强度；电路自动判断针尖状态，降低了人为因素干扰，获得针尖品质稳定；阳极套设计使得金属丝易于垂直液面，液面接触报警设计使得易于确定金属丝浸入深度，降低了操作难度。
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公开(公告)号：CN110456105A
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201910597624.9
申请日：2019-07-04
申请人： 武汉科技大学
摘要： 本发明公开了一种金纳米探针回收装置及其回收方法，回收装置包括罐体和挂篮，罐体和挂篮均为不锈钢材料制成，罐体的下端具有与其内部连通的排水口，排水口处设有第一阀门，罐体上具有与其内部连通的进液口和清水入口，且进液口用以通入重铬酸盐和浓硫酸的混合液，且进液口处设有第二阀门，清水入口用以通入清水，且清水入口处设有第三阀门，罐体上端设有与其内部连通的开口，挂篮的提手上设有挂板，金纳米探针置于挂篮的篮体内，篮体经开口伸入到罐体内，挂板挂接在开口处且篮体悬设在罐体内，篮体内的金纳米探针浸没在混合液的液面下，罐体、篮体和第一阀门均为不锈钢材料制成。其结构简单，环境友好，操作安全简便。
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公开(公告)号：CN109406832A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201811307097.5
申请日：2018-11-05
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明公开了一种采用双电解质法制备扫描探针显微镜钨丝探针的方法及装置，该装置由直流电源的正极、第一电缆、正极电极、Na2SO4溶液、钨丝下端、NaOH液膜、负极电极、第二电缆、开关、第三电缆和直流电源的负极构成腐蚀电路回路。该方法使用NaOH和Na2SO4两种电解质溶液作为钨丝与电极之间的电解液，钨丝间接作为电极，实现了无需复杂断电电路即可在针尖形成瞬间断开回路电流的功能，避免了探针尖端由于手动断电和自动断电电路延时而受到的过度腐蚀，能够制备出更加尖锐的钨丝探针；并且，该方法实现简单，避免了使用自动断电电路的复杂度和高昂成本。
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公开(公告)号：CN106841689A
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201710187813.X
申请日：2017-03-27
申请人： 贵州大学
摘要： 本发明公开了一种制作扫描隧道显微镜探针设备的探针棒减振装置及方法，它包括下调节支架（2），下调节支架（2）连接中间调节托盘（15），中间调节托盘（15）上固定有减振筒（16）,探针棒（7）穿过减振筒（16）且探针棒（7）与减振筒（16）不接触，探针棒（7）的两端分别伸出减振筒（16），探针棒（7）与减振筒（16）之间填充有硅胶（17）；解决了现有技术的装置在制作扫描隧道显微镜的探针中，要产生氢气，氢气从探针棒附近的NaOH的水溶液的液面向上升入空中时，探针棒附近的液面产生波动，使探针棒产生垂直于探针轴线的横向振动，影响探针的针尖在探针轴线上，影响探针的针尖制作质量等技术问题。
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