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公开(公告)号:EP1222233B1
公开(公告)日:2005-11-23
申请号:EP00969286.4
申请日:2000-09-22
申请人: AZ Electronic Materials USA Corp.
发明人: SHAN, Jianhui , DING, Shuji , GONZALEZ, Eleazar, B. , KHANNA, Dinish, N.
IPC分类号: C09B69/10 , G03F7/09
CPC分类号: G03F7/091 , C09B69/106 , G03F7/021