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1.

发明授权
SMART CHAMBER AND SMART CHAMBER COMPONENTS 有权

公开(公告)号：EP3117449B1

公开(公告)日：2020-08-12

申请号：EP15762097.2

申请日：2015-02-16

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： BINNS, Simon Nicholas , WEST, Brian T. , SCHAUER, Ronald Vern , JOHNSON, Roger M. , COX, Michael S.

IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/203 , H01J37/32 , H01J37/34

2.

发明公开
SMART CHAMBER AND SMART CHAMBER COMPONENTS 审中-公开
标题翻译： INTELLIGENTE KAMMER UND KOMPONENTEN DER INTELLIGENTEN KAMMER

公开(公告)号：EP3117449A1

公开(公告)日：2017-01-18

申请号：EP15762097.2

申请日：2015-02-16

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： BINNS, Simon Nicholas , WEST, Brian T. , SCHAUER, Ronald Vern , JOHNSON, Roger M. , COX, Michael S.

IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/203

摘要： A process chamber includes a chamber body having a chamber lid assembly disposed thereon, one or more monitoring devices coupled to the chamber lid assembly, and one or more antennas disposed adjacent to the chamber lid assembly that are in communication with the one or more monitoring devices.

摘要翻译： 处理室包括室主体，其具有设置在其上的室盖组件，耦合到室盖组件的一个或多个监控设备以及与室盖组件相邻设置的一个或多个与一个或多个监视设备通信的天线。