专利检索 ap:("CANON KABUSHIKI KAISHA") AND inv:"Ito, Jun," 第 1 页

1.

发明授权
Differential pumping system and exposure apparatus 有权
标题翻译：差动泵送装置和曝光装置

公开(公告)号：EP1396758B1

公开(公告)日：2010-10-20

申请号：EP03255177.2

申请日：2003-08-21

申请人： CANON KABUSHIKI KAISHA

发明人： Ohgushi, Nobuaki, , Miyake, Akira, , Hasegawa, Takayuki, , Ito, Jun,

IPC分类号： G03F7/20 , G21K1/04

CPC分类号： B82Y10/00 , G03F7/70033 , G03F7/70041 , G03F7/7055 , G03F7/70841 , G03F7/70916 , G21K1/043