专利检索 ap:("INTERPANE Entwicklungs-und Beratungsgesellschaft mbH") AND inv:"Wuttig, Matthias" 第 1 页

1.

发明公开
Plant and method for sputtering a substrate using a dopant material 有权
标题翻译：使用铪作为掺杂剂，以增加沉积速率

公开(公告)号：EP2894134A1

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：EP14150634.5

申请日：2014-01-09

申请人： INTERPANE Entwicklungs-und Beratungsgesellschaft mbH

发明人： Wagner, Dominik , Kappertz, Oliver , Weis, Hansjörg , Purwins, Michael , Schmidt, Rüdiger M. , Wuttig, Matthias

IPC分类号： C03C17/00 , C03C17/245 , C03C17/36 , C23C14/00 , C23C14/34 , C23C14/35 , C22C14/00

CPC分类号： C03C17/002 , C03C17/2456 , C03C2217/212 , C03C2217/24 , C03C2218/155 , C23C14/0036 , C23C14/083 , C23C14/3414

摘要： The invention relates to a sputtering technique for substrate coating. According to one aspect, a plant for coating a substrate (102) via sputtering is provided, which comprises a sputtering target (108) providing a coating material for ejection during a sputtering process and deposition on the substrate. The sputtering target (108) further comprises a dopant material for amplification of a sputtering yield. The dopant material comprises at least one of hafnium, tantalum, tungsten, rhenium, osmium, iridium.

2.

发明授权
Use of hafnium as dopant material for amplification of sputtering yield 有权
标题翻译： Verwendung von Hafnium als Dotiermittel zurErhöhungder Abscheidungsrate

公开(公告)号：EP2894134B1

公开(公告)日：2016-05-25

申请号：EP14150634.5

申请日：2014-01-09

申请人： INTERPANE Entwicklungs-und Beratungsgesellschaft mbH

发明人： Wagner, Dominik , Kappertz, Oliver , Weis, Hansjörg , Purwins, Michael , Schmidt, Rüdiger M. , Wuttig, Matthias

IPC分类号： C03C17/00 , C03C17/245 , C03C17/36 , C23C14/00 , C23C14/34 , C23C14/35 , C22C14/00

CPC分类号： C03C17/002 , C03C17/2456 , C03C2217/212 , C03C2217/24 , C03C2218/155 , C23C14/0036 , C23C14/083 , C23C14/3414

3.

发明公开
Temperature resistant coating system including TiOx 审中-公开
标题翻译： TemperaturbeständigesBeschichtungssystem mit TiOx

公开(公告)号：EP2894133A1

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：EP14150609.7

申请日：2014-01-09

申请人： INTERPANE Entwicklungs-und Beratungsgesellschaft mbH

发明人： Wagner, Dominik , Weis, Hansjörg , Purwins, Michael , Kappertz, Oliver , Mäder, Sebastian , Wuttig, Matthias , Schmidt, Rüdiger M.

IPC分类号： C03C17/00 , C03C17/245 , C03C17/36 , C23C14/00

CPC分类号： C03C17/366 , C03C17/36 , C03C17/3644 , C03C2218/155 , C03C2218/32 , C23C14/08 , C23C14/083

摘要： The invention relates to a temperature resistant coating system (102) for a transparent substrate (104). The coating system (102) comprises a layer of titanium oxide (108), wherein the layer of titanium oxide (108) comprises at least one of hafnium, tantalum, tungsten, zirconium, molybdenum, vanadium, chromium, and manganese.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于透明基板（104）的耐温涂层系统（102）。涂层系统（102）包括一层氧化钛（108），其中氧化钛层（108）包括铪，钽，钨，锆，钼，钒，铬和锰中的至少一种。