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发明公开
TECHNIQUES FOR MANUFACTURING SPLIT-CELL 3D-NAND MEMORY DEVICES 审中-公开

公开(公告)号：EP4176466A1

公开(公告)日：2023-05-10

申请号：EP21836885.0

申请日：2021-06-30

申请人： Invensas Corporation

发明人： CHANG, Xu , HABA, Belgacem , KATKAR, Rajesh , FISCH, David Edward , DELACRUZ, Javier A.

IPC分类号： H01L27/11578 , H01L27/11565 , H01L27/11568 , H01L27/11551 , H01L27/11519 , H01L27/11521