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发明公开
SINGLE-ELECTRON TRANSISTOR, FIELD-EFFECT TRANSISTOR, SENSOR, METHOD FOR PRODUCING SENSOR, AND SENSING METHOD 有权
标题翻译：单电子晶体管，场效应晶体管，传感器，其制造方法传感器和采样

公开(公告)号：EP1645871A4

公开(公告)日：2011-02-23

申请号：EP04734418

申请日：2004-05-21

申请人： JAPAN SCIENCE & TECH AGENCY

发明人： MATSUMOTO KAZUHIKO , MUKASA KOICHI , ISHII ATSUSHI , TAKEDA SEIJI , SAWAMURA MAKOTO , SUBAGYO AGUS , HOSOI HIROTAKA , SUEOKA KAZUHISA , KIDA HIROSHI , SAKODA YOSHIHIRO

IPC分类号： G01N27/00 , G01N27/30 , G01N27/414 , H01L51/30

CPC分类号： H01L51/0545 , B82Y10/00 , B82Y30/00 , G01N27/4146 , H01L51/0048