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1.

发明公开
IMAGING SYSTEM FOR BURIED METROLOGY TARGETS 审中-公开

公开(公告)号：EP4115142A1

公开(公告)日：2023-01-11

申请号：EP21812885.8

申请日：2021-05-24

申请人： KLA Corporation

发明人： HILL, Andrew, V. , LAREDO, Gilad , MANASSEN, Amnon , SAFRANI, Avner

IPC分类号： G01B11/24 , G01B11/02 , H01L21/68 , H01L21/66

2.

发明公开
ACTIVE RETICLE CARRIER FOR IN SITU STAGE CORRECTION 审中-公开

公开(公告)号：EP4200669A1

公开(公告)日：2023-06-28

申请号：EP21865005.9

申请日：2021-09-01

申请人： KLA Corporation

发明人： SAFRANI, Avner , PAHIMA, Adi , RUDOI, Ron , MARK, Shai

IPC分类号： G03F1/84 , G03F1/66

3.

发明公开
SYSTEM AND METHOD FOR DETERMINING TARGET FEATURE FOCUS IN IMAGE-BASED OVERLAY METROLOGY 审中-公开

公开(公告)号：EP4200599A1

公开(公告)日：2023-06-28

申请号：EP21876216.9

申请日：2021-09-21

申请人： KLA Corporation

发明人： LAVERT, Etay , MANASSEN, Amnon , SIMON, Yossi , SANKO, Dimitry , SAFRANI, Avner

IPC分类号： G01N21/956 , G01N21/88 , G03F7/20 , G06N3/04 , G06N20/00 , G06T7/00