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    AFM probe with variable stiffness
    1.
    发明公开
    AFM probe with variable stiffness 有权
    AFM-Sonde von variabler Festigkeit

    公开(公告)号：EP1956607A1

    公开(公告)日：2008-08-13

    申请号：EP07150356.9

    申请日：2007-12-21

    申请人： KOREA INSTITUTE OF MACHINERY & MATERIALS

    发明人： Lee, Hak-Joo ,  Hyun, Seung Min ,  Kim, Jae Hyun ,  Kim, Jung Yup ,  Han, Seung Woo ,  Park, Jung Min ,  Choi, Byung Ik

    IPC分类号： G12B21/08 ,  G01N13/16

    CPC分类号： G01Q60/38 ,  G01Q60/366 ,  G01Q70/10

    摘要： An object of the present invention is to provide an atomic force microscope (AFM) probe (100) for use in an AFM, and more particularly, an AFM probe (100) suitable for testing the topography and mechanical properties of a microstructure having a size of the order of micrometers or nanometers. To this end, an AFM probe according to the present invention comprises an elastically deformable hollow frame (110) having a fixed end and a movable end on one axis (Z); an AFM tip (120) supported by the movable end to be movable against a test sample (6) in a direction of the axis (Z); and a stopper (140) provided on an inner surface of the hollow frame (110) to control a movement of the AFM tip (120) within a predetermined range.

    摘要翻译： 本发明的目的是提供一种用于AFM的原子力显微镜（AFM）探针（100），更具体地说，提供一种AFM探针（100），其适于测试具有尺寸的微结构的形貌和机械性能 为微米级或纳米级。 为此，根据本发明的AFM探针包括一个可弹性变形的中空框架（110），其在一个轴线（Z）上具有固定端和可动端; 由所述可移动端支撑以在所述轴线（Z）的方向上抵靠测试样品（6）移动的AFM尖端（120）; 以及设置在所述中空框架（110）的内表面上以控制所述AFM尖端（120）在预定范围内的移动的止动件（140）。