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发明公开
COMPOSITION CHIMIQUE DE NETTOYAGE POUR LE RETRAIT D'UNE COUCHE DE PASSIVATION AMORPHE A LA SURFACE DE MATÉRIAUX CRISTALLINS 审中-公开

公开(公告)号：EP3646371A1

公开(公告)日：2020-05-06

申请号：EP18749844.9

申请日：2018-06-29

申请人： Technic France

发明人： PIZZETTI, Christian , AUDOUIN, Marine , DAVIOT, Jérôme , PIALOT, Nicolas , VERNIN, Philippe

IPC分类号： H01L21/311 , H01L21/3213 , H01L21/02